核心技術(shù)與結(jié)構(gòu)特性

雙模式先導(dǎo)結(jié)構(gòu)

NP系列采用內(nèi)部先導(dǎo)方式，含NC（常閉型）和NO（常開型）兩種基礎(chǔ)型號(hào)，適配Φ400mm以下氣缸驅(qū)動(dòng)，最大流量達(dá)630mm2，響應(yīng)時(shí)間12±2ms

NAP/NVP系列為外部先導(dǎo)式設(shè)計(jì)，突破正負(fù)壓限制，真空環(huán)境下仍保持穩(wěn)定性能，閥體重量減輕20%，厚度縮減40%實(shí)現(xiàn)超薄安裝

流體兼容與密封系統(tǒng)

采用氟橡膠主密封件與不銹鋼閥芯組合，耐受-10℃~80℃工況，支持空氣/真空/惰性氣體多介質(zhì)控制

的"三重動(dòng)態(tài)密封"技術(shù)使泄漏量＜0.1mL/min，耐久測(cè)試達(dá)1億次循環(huán)后密封性能衰減＜5%

性能參數(shù)對(duì)比

型號(hào)

驅(qū)動(dòng)方式

適用壓力(MPa)

響應(yīng)時(shí)間

功耗

特殊功能

NP-06

內(nèi)部先導(dǎo)

0.15~0.7

10±2ms

1.2W

帶手動(dòng)緊急開關(guān)

NAP-10

外部先導(dǎo)

-0.1~0.8

15±3ms

0.8W

真空/正壓雙模式

NVP-12

外部先導(dǎo)

-0.09~1.0

12±2ms

1.0W

防爆線圈可選

行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造：NVP系列在晶圓搬運(yùn)機(jī)械手中實(shí)現(xiàn)±0.005mm定位精度，抗電磁干擾設(shè)計(jì)滿足Class10潔凈室要求

維護(hù)與選型建議

安裝時(shí)需保持閥體軸線與氣缸同軸度＜0.1mm，建議前置5μm過濾器

潮濕環(huán)境應(yīng)選擇IP67防護(hù)等級(jí)的4KB2派生型號(hào)，腐蝕性介質(zhì)推薦PTFE密封的TVG系列

故障代碼E01（線圈過載）可通過降低PWM驅(qū)動(dòng)頻率至＜1kHz解決