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《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿發(fā)布
2019年12月26日 11:36:09 來源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：6398

透射電子顯微鏡（簡(jiǎn)稱“透射電鏡”）是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到具有薄區(qū)的試樣上，電子束穿透試樣并與之作用，形成明暗不同的影像或衍射花樣，并在放大、聚焦后在成像器件上顯示出來。透射電鏡的分辨率高，能夠同時(shí)獲得樣品的顯微形貌、尺寸、化學(xué)成分、晶體結(jié)構(gòu)等信息，在納米材料、生物醫(yī)藥、新能源等領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用。

　　【化工儀器網(wǎng) 政策標(biāo)準(zhǔn)】透射電子顯微鏡(簡(jiǎn)稱“透射電鏡”)是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到具有薄區(qū)的試樣上，電子束穿透試樣并與之作用，形成明暗不同的影像或衍射花樣，并在放大、聚焦后在成像器件上顯示出來。透射電鏡的分辨率高，能夠同時(shí)獲得樣品的顯微形貌、尺寸、化學(xué)成分、晶體結(jié)構(gòu)等信息，在納米材料、生物醫(yī)藥、新能源等領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用。透射電鏡結(jié)構(gòu)示意圖見圖1：
 
　　由于磁透鏡和電子槍的電流隨時(shí)間的變化等因素使得透射電鏡的測(cè)量長(zhǎng)度值會(huì)產(chǎn)生誤差，有些值的誤差可達(dá)到10%，影響測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確性。因此，迫切需要建立透射電鏡的量傳體系，為納米技術(shù)領(lǐng)域的準(zhǔn)確測(cè)量提供技術(shù)保障。
 
　　近日，根據(jù)國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局計(jì)量函【2019】42號(hào)《市場(chǎng)監(jiān)管總局計(jì)量司關(guān)于國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范制定、修訂及宣貫計(jì)劃有關(guān)事項(xiàng)通知》，受全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)的委托，由中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院和上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院負(fù)責(zé)制定的《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》出稿已完成。為了使該項(xiàng)計(jì)量技術(shù)規(guī)范更加完善和更具可操作性，全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)將規(guī)范予以公示，并面向全社會(huì)公開征求意見。
 
　　《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》具體內(nèi)容包括范圍、應(yīng)用文件、術(shù)語(yǔ)和定義、概述、計(jì)量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)、復(fù)校時(shí)間間隔等，適用于透射電子顯微鏡的校準(zhǔn)。
 
　　其中，透射電鏡的計(jì)量特性參見表1：
 
　　儀器在校準(zhǔn)過程中需要考慮的環(huán)境條件包括溫度：(20±5)℃，濕度：≤70%RH，其中，實(shí)驗(yàn)室震動(dòng)和電磁輻射應(yīng)不影響測(cè)量結(jié)果。而儀器的校準(zhǔn)項(xiàng)目所采用的標(biāo)準(zhǔn)樣品是周期柵格、硅晶格等，可根據(jù)計(jì)量特性、儀器測(cè)量范圍和實(shí)際使用情況選用相適應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)樣品。校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)樣品參見表2：
 
　　透射電鏡的校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法包括測(cè)長(zhǎng)示值誤差、測(cè)長(zhǎng)重復(fù)性、正交性誤差、漂移速率等內(nèi)容。另外，關(guān)于儀器的復(fù)校時(shí)間間隔，規(guī)范明確，由于復(fù)校時(shí)間間隔的長(zhǎng)短是由透射電鏡的使用狀況、使用者、設(shè)備本身質(zhì)量等諸因素所決定的，因此，送校單位可根據(jù)儀器實(shí)際使用情況自主決定復(fù)校時(shí)間間隔。建議復(fù)校時(shí)間間隔一般為1年。
 
　　以上規(guī)范的編寫主要參考了JJG(教委)011-1996《透射電子顯微鏡檢定規(guī)程》與GB/T 34002-2017《微束分析　透射電子顯微術(shù)　用周期結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)校準(zhǔn)圖像放大倍率的方法》的相關(guān)內(nèi)容。規(guī)范制定的目的是解決透射電子顯微鏡在長(zhǎng)度測(cè)量應(yīng)用中的校準(zhǔn)問題。
 
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