肥婆老熟妇精品视频在线-就去吻亚洲精品日韩都没-女生抠那里小视频-翘臀后插手机自拍


化工儀器網(wǎng)首頁>資訊中心>行業(yè)動態(tài)>正文

中國科大參與制定的半導體線寬測量標準正式發(fā)布
2020年03月09日 14:28:03 來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：6353

2020年3月6日，中國科學技術(shù)大學傳來好消息稱，標準化組織(ISO)正式發(fā)布了一項由中國科技大學技術(shù)大學物理學院和微尺度物質(zhì)科學國家研究中心丁澤軍團隊主導制定的標準：“基于測長掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”

　　【化工儀器網(wǎng) 行業(yè)動態(tài)】隨著社會的發(fā)展，中國與世界的聯(lián)系愈加緊密。無論是市場一體化，還是經(jīng)濟化的逐步深入，都表明中國必須更加積極主動的融入世界經(jīng)濟，而在這一過程中，參與制定規(guī)則不僅是提升地位、彰顯國家強盛的一種重要手段，更能有效推動中國的對外貿(mào)易發(fā)展，及保障本國安全、保護消費者權(quán)益。
 
　　為什么這么說呢？舉個簡單的例子，近日我國一批水果就因為不符合歐盟食品安全標準被警告通報，還有一批醬油被拒絕入境。技術(shù)壁壘作為一種正當合法的壁壘，影響著貿(mào)易的進行。因此，我國在開展對外交流的同時，也需要積極參與到標準的制修訂當中去，提升我國在交往中的話語權(quán)。
 
　　2020年3月6日，中國科學技術(shù)大學傳來好消息稱，標準化組織(ISO)正式發(fā)布了一項由中國科技大學技術(shù)大學物理學院和微尺度物質(zhì)科學國家研究中心丁澤軍團隊主導制定的標準：“基于測長掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”(Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466))。據(jù)了解，該項標準屬于微束分析領(lǐng)域，是半導體線寬測量方面的標準，也是半導體檢測領(lǐng)域由中國主導制定的標準。
 
　　半導體行業(yè)的發(fā)展日新月異，對集成電路器件加工尺寸的控制也要求日趨精細，其中納米尺度線寬測量的精準性直接決定著器件的性能，納米器件尺度的準確和精確(精度<1 nm)測量技術(shù)對半導體行業(yè)的發(fā)展起著至關(guān)重要的作用。目前，人們已經(jīng)發(fā)展了多種測量技術(shù)手段，如原子力顯微鏡、透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡和測長掃描電鏡(CD-SEM)等。
 
　　丁澤軍團隊發(fā)展了先進的用于掃描電子顯微術(shù)和表面電子能譜學的Monte Carlo模擬計算方法，并結(jié)合了“基于模型數(shù)據(jù)庫”(MBL)方法，提出了“基于測長掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”的ISO標準(IS)。
 
　　標準指定了利用CD-SEM成像表征刻蝕線寬的結(jié)構(gòu)模型及其相關(guān)參數(shù)、Monte Carlo模擬模型和成像掃描線計算方法、圖像匹配擬合程序和CD參數(shù)定值法等內(nèi)容。與傳統(tǒng)的方法相比，該方法能夠給出準確的CD值，并且把線寬測量從單一參數(shù)擴展到包含結(jié)構(gòu)形貌特征的信息，適用于如晶圓上的柵極、光掩模、尺寸小至10 nm的單個孤立的或密集的線條特征圖案。該標準不僅為半導體刻蝕線寬的CD-SEM準確評測確定了行業(yè)標準，也為一般性納米級尺寸的其它測量法提供了參考。
 
　　半導體行業(yè)是近些年快速發(fā)展的一個領(lǐng)域，其科研價值和經(jīng)濟價值都不容小覷，因此受到了諸多國家的關(guān)注。對我國來說，參與制定半導體相關(guān)的標準，不僅有助于促進半導體評測技術(shù)的發(fā)展，也有利于提升我國在半導體行業(yè)的影響力和競爭力。
 
資料來源：中科大
關(guān)鍵詞

相關(guān)閱讀 Related Reading

查看更多+

  • 少子壽命測試儀中標結(jié)果公告

    項目名稱：昆明物理研究所少子壽命測試儀采購項目,項目編號：0653-254253A11003,招標范圍：昆明物理研究所少子壽命測試...
    2025-07-14 14:58:10

  • 麻省理工開發(fā)新機器人系統(tǒng) 有望加速高效太陽能電池板材料研發(fā)

    近日，美國麻省理工學院(MIT)團隊開發(fā)出一種全新的全自動機器人系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以承擔新材料的光電導性測試工作，并且可以大幅加快對新...
    2025-07-08 17:01:24

  • 國產(chǎn)半導體真空泵企業(yè)完成5億元融資 加速國產(chǎn)化進程

    國內(nèi)半導體真空泵企業(yè)北京通嘉完成5億元融資，由北京新材料基金領(lǐng)投，多家機構(gòu)跟投。資金將用于研發(fā)、市場拓展及人才引進。
    2025-04-10 15:49:59

  • 新型半導體技術(shù)造就世界最小LED

    近日，浙江大學光電科學與工程學院/海寧國際聯(lián)合學院狄大衛(wèi)教授和趙保丹研究員團隊，成功研發(fā)出微米和納米鈣鈦礦LED，其降尺寸過程僅造...
    2025-03-21 11:01:14

  • 核心裝備賦能半導體創(chuàng)新 雷博科儀閃耀慕尼黑上海光博會

    在本次展會現(xiàn)場，雷博科儀攜五大優(yōu)良儀器——AC200勻膠機、DM200-SE顯影機、HP100-SE烤膠機、EC400有機-金屬真...
    2025-03-18 15:11:24

  • 天準科技募資不超過9億元 加碼布局工業(yè)視覺等三大領(lǐng)域

    2月12日，天準科技宣布發(fā)行9億元可轉(zhuǎn)債，資金用于工業(yè)視覺裝備及精密測量儀器、半導體量測設(shè)備及智能駕駛控制器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。
    2025-02-14 14:26:19

版權(quán)與免責聲明

  • ①凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
  • ②本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
  • ③如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。