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工信部對《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)公開征集意見
2023年11月17日 10:46:04 來源:化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量:19353

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化工作的總體安排,現(xiàn)將申請立項(xiàng)的《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版項(xiàng)目和《環(huán)境污染防治設(shè)備  術(shù)語》等38項(xiàng)推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃項(xiàng)目予以公示(見附件1、2、3),截止日期為2023年12月16日。

  【化工儀器網(wǎng) 標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布】  半導(dǎo)體設(shè)備是集成電路制造的核心設(shè)備之一,對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有至關(guān)重要的作用。為了適應(yīng)行業(yè)發(fā)展需求,提高設(shè)備性能和質(zhì)量,工信部制定了《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),旨在規(guī)范設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)、測試方法、操作規(guī)程等方面的內(nèi)容。
 
  這196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)涉及了半導(dǎo)體設(shè)備的多個方面,包括設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)、測試方法、操作規(guī)程、維護(hù)保養(yǎng)等方面的內(nèi)容。其中,《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》主要規(guī)定了集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備的測試方法,包括設(shè)備的性能測試、可靠性測試、安全性測試等方面的內(nèi)容。
 
  根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化工作的總體安排,現(xiàn)將申請立項(xiàng)的《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版項(xiàng)目和《環(huán)境污染防治設(shè)備  術(shù)語》等38項(xiàng)推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃項(xiàng)目予以公示(見附件1、2、3),截止日期為2023年12月16日。
 
  具體原文如下:
 
  公開征集對《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、1項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版和38項(xiàng)推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃項(xiàng)目的意見
 
  根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化工作的總體安排,現(xiàn)將申請立項(xiàng)的《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版項(xiàng)目和《環(huán)境污染防治設(shè)備  術(shù)語》等38項(xiàng)推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃項(xiàng)目予以公示(見附件1、2、3),截止日期為2023年12月16日。如對擬立項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目有不同意見,請?jiān)诠酒陂g填寫《標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)反饋意見表》(見附件4)并反饋至我司,電子郵件發(fā)送至KJBZ@miit.gov.cn(郵件主題注明:標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)公示反饋)。
 
  公示時間:2023年11月16日-2023年12月16日
 
  聯(lián)系電話:010-68205241
 
  地址:北京市西長安街13號 工業(yè)和信息化部科技司
 
  郵編:100804
 
  附件:
 
  1.《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂計(jì)劃(征求意見稿)
 
  2.《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版計(jì)劃(征求意見稿)
 
  3.《環(huán)境污染防治設(shè)備 術(shù)語》等38項(xiàng)推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)制修訂計(jì)劃(征求意見稿)
 
  4.標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)反饋意見表
 
  工業(yè)和信息化部科技司
 
  2023年11月16日
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