激光干涉儀的產(chǎn)品簡介
MCV-5000系列激光多普勒干涉儀采用一個(gè)雙通道處理器和二個(gè)單光束激光頭及各種功能組件組成。
MCV-5002是MCV-5000系列中的基本型,它具有直線位移,大型龍門式機(jī)床主動(dòng)軸從動(dòng)軸直線位移同步測量,角偏(俯仰角、偏擺角)測量,直線度(水平直線度、上下直線度)測量,分軸步進(jìn)對角線(空間精度)測量功能。(上圖)
MCV-5003是在MCV-5002的基礎(chǔ)上增加RT-100A(自動(dòng))轉(zhuǎn)臺(tái)測量功能組合而成,具有旋轉(zhuǎn)軸精度測量功能。
MCV-5004是在MCV-5002的基礎(chǔ)上增加二套動(dòng)態(tài)測量功能
組合而成,具有動(dòng)態(tài)測量和圓形軌跡(非圓形軌跡)測量功能。
MCV-5005是綜合了MCV-5002、MCV-5003、MCV-5004的全部測量功能。
激光干涉儀
MCV-5004、MCV-5005還可選配SP-500進(jìn)行主軸回轉(zhuǎn)幾何精度(徑向跳動(dòng)、端面跳動(dòng)) 測量和綜合刀尖位置精度測量。