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ETSys-Map在線薄膜測量系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準

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光譜橢偏儀,激光橢偏儀,在線橢偏儀,

產地類別 國產

ETSys-Map在線薄膜測量系統(tǒng)是針對納米薄膜研發(fā)和質量控制領域中大面積樣品檢測專門設計的在線薄膜測量系統(tǒng)。

ETSys-Map在線薄膜測量系統(tǒng)用于對1.4m * 1.1m及以上的大面積樣品進行在線檢測。可測量光滑平面基底上的納米薄膜,包括單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k;并可同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k??蓽y量樣品上區(qū)域的樣品參數(shù)以及樣品表面的均一性分布。

ETSys-Map融合量拓科技在高精度激光橢偏儀的*技術和產品設計方面的經驗,性能。

特點:

  • 微米量級的全面積掃描精度

    *的系統(tǒng)設計,能夠使探頭到達樣品上每個點,掃描精度達到微米量級。

  • 原子層量級的膜厚分析精度

    采用非接觸、無破壞性的橢偏測量技術,對納米薄膜達到*的測量準確度和靈敏度,膜厚測量靈敏度可達到0.05nm。

  • 簡單方便安全的儀器操作 

    用戶只需一個按鈕即可完成復雜的材料測量和分析過程,數(shù)據(jù)一鍵導出。豐富的模型庫、材料庫方便用戶進行高級測量設置。



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