D-600 KLA 探針式表面輪廓儀
- 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號 D-600
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/6/25 11:10:32
- 訪問次數(shù) 2558
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,汽車及零部件 | 重復(fù)性 | 5?(0.10%) |
| 垂直分辨率 | 0.38A | 垂直范圍 | 1200μm |
| 針壓范圍 | 0.03~15mg | 采樣率 | 60~2000Hz |
| 掃描速度 | 10~400μm/s |
KLA D600 探針式表面輪廓儀
KLA D600 探針式表面輪廓儀產(chǎn)品介紹：
KLA D600 探針式表面輪廓儀采用光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率、較大的高度測量范圍和準(zhǔn)確的微力控制。探針的接觸式測量技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是直接測量，與材料特性無關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機(jī)臺對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行準(zhǔn)確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結(jié)構(gòu)改變引起的粗糙度和應(yīng)力變化。
KLA D600 探針式表面輪廓儀包括一個200mm自動樣品載臺和具有增強(qiáng)圖像控制的光學(xué)器件。Alpha-Step輪廓儀體積小巧，專為高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所設(shè)計(jì)，可為半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體器件、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫(yī)療行業(yè)提供臺階高度、粗糙度和應(yīng)力測量。
KLA D600 探針式表面輪廓儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
500萬像素高分辨率彩色相機(jī)
平整的掃描平臺
用于測量可視化的側(cè)視視圖
從0.03到15毫克的力控制范圍
Z向掃描范圍可達(dá)1.2mm
200毫米手動XY樣品臺
符合CE標(biāo)準(zhǔn)
KLA D600 探針式表面輪廓儀產(chǎn)品優(yōu)勢：
在重復(fù)性和再現(xiàn)性上具有良好表現(xiàn)
接觸式測量，適用于多種材料
測量軟材料的微力控制
梯形失真校正可消除側(cè)視圖造成的失真
弧形校正補(bǔ)償探針的弧形運(yùn)動
KLA D600 探針式表面輪廓儀產(chǎn)品測量原理：
KLA D600 探針式表面輪廓儀采用了光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)。光學(xué)杠桿傳感器利用轉(zhuǎn)軸組件上表面反射的激光束跟蹤表面形貌。反射的光束隨后投射到光電探測器上。對于 Alpha-Step，光束被分成兩部分：一邊投射到雙電池光電探測器上，另一邊投射到單電池光電探測器上 。這種設(shè)計(jì)可以在第一個探測器上對較小的步長進(jìn)行高分辨率測量，而在第二個探測器上對較大的步長進(jìn)行測量。激光束的偏轉(zhuǎn)在測探針蹤表面時發(fā)生變化，同時被光電探測器感應(yīng)到，然后將這種偏轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為形貌信號。光學(xué)杠桿的優(yōu)勢在于整個組件的質(zhì)量小，可以進(jìn)行低力測量。此外，該傳感器響應(yīng)速度快，可跟蹤表面形貌的變化。
KLA D600 探針式表面輪廓儀主要應(yīng)用：
2D表面形貌掃描 | 3D表面形貌掃描 |
粗糙度和波紋度測量 | 樣品翹曲和曲率半徑測量 |
薄膜應(yīng)力測量（Stoney方程） | 從納米級到1.2毫米的臺階高度測量 |
KLA D600 探針式表面輪廓儀行業(yè)應(yīng)用：
高校和實(shí)驗(yàn)室
KLA D600 探針式表面輪廓儀是任何高校、研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒?yàn)室的重要研究工具。該系統(tǒng)能夠進(jìn)行接觸式的直接測量，結(jié)果與材料性質(zhì)無關(guān)。研究人員能夠測量任何透明或不透明材料的沉積厚度。Alpha-Step輪廓儀操作簡便，簡單培訓(xùn)即可讓用戶快速掌握和使用。
二次離子質(zhì)譜（SIMS）產(chǎn)生的凹陷
準(zhǔn)確測量二次離子質(zhì)譜（SIMS）所產(chǎn)生的凹陷的深度，以確定離子濃度和凹陷深度的關(guān)系。測量凹陷底面的粗糙度，以表征離子束能量的均勻性。
試驗(yàn)性生產(chǎn)
Alpha-Step探針式輪廓儀是小批量試驗(yàn)性生產(chǎn)的理想選擇。操作員可以在樣品的多個位置快速聚焦和測量，以反映樣品表面的工藝變化。Alpha-Step輪廓儀的軟件還支持操作員、系統(tǒng)和批次信息的追蹤，以方便生產(chǎn)中的統(tǒng)計(jì)過程控制。
常規(guī)應(yīng)用
Alpha-Step探針式輪廓儀被廣泛用于生產(chǎn)或研發(fā)。例如測量紡織品安全特征和與紡織品吸光率相關(guān)的粗糙度，還有消費(fèi)電子產(chǎn)品的應(yīng)用,包括測量觸摸屏形貌和玻璃屏幕上的薄膜臺階高度。
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
測量在半導(dǎo)體前段、后段和封裝工藝中的表面形貌，包括測量光刻膠厚度、蝕刻深度、濺射高度、CMP前后形貌、粗糙度、樣品翹曲和應(yīng)力，以改進(jìn)生產(chǎn)工藝控制。
KLA D600 探針式表面輪廓儀產(chǎn)品參數(shù)：
重復(fù)性： | 5?(0.10%) | 垂直分辨率： | 0.38A | 垂直范圍： | 1200µm |
針壓范圍: | 0.03~15mg | 橫向分辨率： | 2D：0.1µm 3D：1µm | 最大掃描長度： | 2D:30mm 3D:55mm*120mm |
Theta舞臺(手動)： | 360° | 掃描速度： | 10~400µm/s | 樣品厚度： | 30mm |
采樣率： | 60~2000Hz | 樣品臺直徑： | 80mm和20mm | XY運(yùn)動范圍(自動)： | 150mm和178mm |
KLA D600 探針式表面輪廓儀測量圖：
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