PLD 檢漏用氦質(zhì)譜檢漏儀
- 公司名稱 伯東企業(yè)（上海）有限公司
- 品牌 Pfeiffer Vacuum/普發(fā)
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2020/6/24 16:21:04
- 訪問次數(shù) 232
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,石油,電子/電池,航空航天,電氣 |
|---|
Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏
脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD
脈沖激光沉積系統(tǒng) Pulsed laser deposition 是制備高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)和超晶格結(jié)構(gòu)的物理氣相沉積設(shè)備, 通常需要保證本底真空度達(dá)到 10-8mbar, 同時高真空環(huán)境對系統(tǒng)配置的 RHEED 及溫控系統(tǒng)等關(guān)鍵設(shè)備的壽命也至關(guān)重要.
脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 需要檢漏原因
PLD 系統(tǒng)需要高真空環(huán)境, 腔室是否有泄露, 是否有內(nèi)部材料放氣等因素對實(shí)現(xiàn)高真空及超高真空很關(guān)鍵. 因此需要對整個系統(tǒng)進(jìn)行泄漏檢測. 氦質(zhì)譜檢漏儀利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點(diǎn). 因此廣泛應(yīng)用于 PLD 設(shè)備檢漏.
脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏客戶案例: 上海伯東某客戶 PLD 設(shè)備用來制備各種材料, 為了保證產(chǎn)品質(zhì)量, 采購氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 搭配使用.
生長多層膜（TiN/ALN）結(jié)構(gòu), 各層膜厚度可調(diào) | 高通量制備具有不同材料成分的100種材料 | PLD 制備的 Ag 的納米多孔材料 |
|
|
|
脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏方法
采用真空模式檢漏, 通過波紋管連接需要檢漏的腔體, 設(shè)定好需要的漏率值
在懷疑有漏的地方噴氦氣（一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處）,如果有漏,檢漏儀會出現(xiàn)聲光報(bào)警同時在屏幕上顯示當(dāng)前漏率值..jpg)
上海伯東* Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 三種類型可選
型號 | ASM 340 WET | ASM 340 D | ASM 340 I |
對氦氣的小檢測漏率, 真空模式 | 5E-13 Pa m3/s | 5E-13 Pa m3/s | 5E-13 Pa m3/s |
檢測模式 | 真空模式和吸槍模式 | 真空模式和吸槍模式 | 真空模式和吸槍模式 |
檢測氣體 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 |
對氦氣的抽氣速度 l/s | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
進(jìn)氣口大壓力 hPa | 25 | 25 | 5 |
前級泵抽速 m3/h | 油泵 15 | 隔膜泵 3.4 | 不含前級泵 |
重量 kg | 56 | 45 | 32 |
結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. *氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>
PLD 檢漏用氦質(zhì)譜檢漏儀
PLD 檢漏用氦質(zhì)譜檢漏儀
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東葉小姐
采購中心
化工儀器網(wǎng)