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FIB-SEM-TOF-SIMS

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 上海磊微科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2022/10/23 15:03:54
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1092

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上海磊微科學(xué)儀器有限公司 成立于2015年,總部位于上海市自由貿(mào)易區(qū),是一家集銷(xiāo)售、服務(wù)、技術(shù)支持及研發(fā)為一體的企業(yè)。公司主要產(chǎn)品為高精度的分析檢測(cè)、生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)的備件,目前已與Park、TescanPicosun、Instec等優(yōu)秀設(shè)備供應(yīng)商建立戰(zhàn)略合作關(guān)系。

上海磊微銷(xiāo)售高精度的產(chǎn)品,同時(shí)培養(yǎng)了專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售和售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),以專(zhuān)業(yè)的服務(wù)獲得了廣大客戶(hù)的認(rèn)可。目前,上海磊微提供的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于芯片、顯示、太陽(yáng)能等半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域客戶(hù),同時(shí)服務(wù)于各大高校、科研院所,并以專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售和售后服務(wù)獲得了廣大客戶(hù)的認(rèn)可并建立了良好的合作關(guān)系。同時(shí)在北京、成都、深圳、合肥、煙臺(tái)等地設(shè)有服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼的今天,上海磊微伴隨著行業(yè)不斷學(xué)習(xí)、積極提升自身水平, 為越來(lái)越多的客戶(hù)提供了專(zhuān)業(yè)的產(chǎn)品和服務(wù)。今后,磊微將以不斷培育的市場(chǎng)為依托,以先進(jìn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品為核心,以高效運(yùn)作的團(tuán)隊(duì)為基礎(chǔ),迎來(lái)更快更好的發(fā)展。我們一直秉承團(tuán)結(jié)創(chuàng)新、嚴(yán)謹(jǐn)奮進(jìn)的企業(yè)精神,秉承誠(chéng)信務(wù)實(shí)、互利多贏的經(jīng)營(yíng)理念,努力為客戶(hù)、為社會(huì)提供高品質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù)。



原子力顯微鏡,掃描電鏡,原子層沉積ALD,探針

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
儀器種類(lèi) 聚焦離子束 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子/電池

FIB-SEM-TOF-SIMS電子顯微分析是材料和生命科學(xué)微觀分析中最 重要的一環(huán),而元素分析是其中最重要的表征手段 之一,但標(biāo)準(zhǔn)的分析手段如能譜儀和波譜儀存在因 靈敏度不足、空間分辨率較差,無(wú)法進(jìn)行輕元素、 微量元素的分析,無(wú)法分辨同位素等等問(wèn)題,已不 能滿(mǎn)足應(yīng)用發(fā)展的需求。

       FIB-SEM-TOF-SIMS提供的解決方案是將飛行時(shí)間二次離 子質(zhì)譜與FIB-SEM系統(tǒng)集成。這種組合能夠?yàn)橛?戶(hù)提供固體材料的3D化學(xué)表征和分子信息,高離 子質(zhì)量分辨率和高空間分辨率成像等,并可以進(jìn)行 原位FIB深度分析。

       飛行時(shí)間-二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)

       TOF-SIMS (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)是具有高分辨率的質(zhì)譜儀。 工作原理是用聚焦離子束照射樣品表面,從而在樣 品最上層的原子層激發(fā)出二次離子(SI),再根據(jù) 不同質(zhì)量的二次離子飛行到探測(cè)器的時(shí)間不同來(lái)測(cè) 定離子質(zhì)量。

       與EDX相比,TOF-SIMS可以實(shí)現(xiàn)更好的橫向 和縱向分辨率,還可以識(shí)別并定量樣品表面層中存 在的元素和分子物質(zhì),以及具有類(lèi)似標(biāo)稱(chēng)質(zhì)量的同 位素和其他物質(zhì)等。

       具有超高靈敏度,可檢測(cè)從H開(kāi)始的任意元 素,檢出限達(dá)ppm量級(jí)

•  優(yōu)異的空間分辨率,橫向分辨率< 40 nm, 縱向分辨率< 3 nm

•  正負(fù)離子均可檢測(cè),離子質(zhì)量分辨率>800

•  2D和3D的快速、高離子質(zhì)量分辨率和高 空間分辨率成像,可進(jìn)行原位FIB深度剖析

•  通過(guò)精密控制的坐標(biāo)轉(zhuǎn)移,保證不同儀器分 析位置的重合

•  TESCAN所有型號(hào)的FIB-SEM均可配置 TOF-SIMS 系統(tǒng)


1.輕元素及微量元素分析:Li離子電池中LI+面分布分析。

2.通過(guò)低電壓和小束流FIB逐層減薄,成功區(qū)分出厚度為2.5 nm的摻有0-15% 的In元素的GaN層。

3.金屬?gòu)?fù)合材料中微量元素的晶界偏析測(cè)定,檢出限可達(dá)ppm級(jí)。

4.對(duì)鈾礦石進(jìn)行初期的同位素分析,快速得到238U和235U的分布信息。




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