產(chǎn)品簡介

X軸采用閉式氣浮導軌導向，中間增加氣浮承載面，防止中間下塌。直線電機驅(qū)動及光柵尺閉環(huán)反饋，大理石材質(zhì)作為機體，熱穩(wěn)定性好，用于掃描運動。

YZ軸采用直線電機驅(qū)動，交叉滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋，獲得納米級定位抖動。Y軸安裝到X軸上，Y軸長度等于X軸寬度，保持移動的穩(wěn)定性。Z軸安裝到大理石龍門橋架上。

C軸采用氣浮軸承、力矩電機及光柵尺閉環(huán)反饋，閉式氣浮結(jié)構(gòu)，對結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化設計，氣浮軸承表面和創(chuàng)新的預壓高剛度，側(cè)向放置承載能力大，解決氣浮軸抱死的問題。軸向跳動誤差優(yōu)于100nm，徑向跳動誤差優(yōu)于150nm。B軸直驅(qū)力矩電機驅(qū)動，精密軸環(huán)導向及光柵尺閉環(huán)反饋，用于角度調(diào)整，微動步距0.5arc sec。

大理石機體因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好，應用于運動臺上質(zhì)量可靠，品質(zhì)有保障。大理石做模態(tài)分析，優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸，可依據(jù)客戶的要求做最終設計。

規(guī)格指標