地心科技CFTCA系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XY是納米級(jí)定位精度的XY一體式精密定位平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截至頻率可達(dá)100Hz以上。CFTCA系列采用杰出的工業(yè)化設(shè)計(jì)，外觀設(shè)計(jì)及幾何尺寸非常合理，CFTCA-150XY全行程平面度和直線度小于±2μm，安全中空尺寸可達(dá)40mm*40mm；CFTCA-250XY全行程平面度和直線度小于±4μm，安全中空尺寸可達(dá)50mm*50mm是光學(xué)測(cè)量檢測(cè)領(lǐng)域的關(guān)鍵部件。

CFTCA系列平臺(tái)結(jié)構(gòu)精致緊湊，但是有較強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力，上軸速度1000mm/s，空載加速度可達(dá)1g。配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，CFTCA系列中空平臺(tái)的在位穩(wěn)定性3nm，最小步進(jìn)量可以小于5nm，由于其中空特性，它主要應(yīng)用在雙面測(cè)量檢測(cè)、生物樣片加工和觀測(cè)、薄膜和油墨厚度測(cè)量等需要納米級(jí)定位精度和中空設(shè)計(jì)的工業(yè)領(lǐng)域與科研項(xiàng)目。

CFTCA系列平臺(tái)在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)測(cè)試

備注：

(1)經(jīng)過定制2D校準(zhǔn)后，正交性可達(dá)到 5 arc sec；

(2)適配-AS反饋，配置線性放大器；

(3)空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

(4)默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

(5)其他行程可定制（例如：行程350mm*350mm）。