瑞士VAT真空閥47系列
- 公司名稱 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/7/9 13:34:38
- 訪問(wèn)次數(shù) 86
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
|---|
瑞士VAT真空閥47系列
以下是關(guān)于 瑞士VAT公司47系列高真空角閥 的詳細(xì)技術(shù)解析，涵蓋其型號(hào)分類、技術(shù)特點(diǎn)、選型指南及中國(guó)市場(chǎng)應(yīng)用情況：
一、VAT 47系列產(chǎn)品定位
產(chǎn)品類型：氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)高真空角閥（Angle Valve）
核心用途：
真空腔體的隔離與通氣控制
適用于半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、科研設(shè)備等超高真空（UHV）場(chǎng)景
核心認(rèn)證：
符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，漏率<1×10?? mbar·L/s
材料兼容性：316L不銹鋼、氟橡膠（FKM）或全金屬密封
二、型號(hào)命名規(guī)則（以VAT 47152-AA為例）
| 代碼段 | 含義 |
|---|---|
| 47 | 系列名稱（氣動(dòng)高真空角閥） |
| 1 | 閥體尺寸（1=DN16，5=DN160） |
| 52 | 法蘭類型（52=CF法蘭） |
| AA | 密封材質(zhì)（AA=氟橡膠，MM=金屬） |
三、中國(guó)市場(chǎng)常用子型號(hào)對(duì)比
| 型號(hào) | 通徑 | 法蘭類型 | 密封材質(zhì) | 溫度范圍 | 典型應(yīng)用場(chǎng)景 |
|---|---|---|---|---|---|
| VAT 47112-AA | DN16 | CF-F | 氟橡膠 | -20~+150°C | 小型真空腔體 |
| VAT 47152-AA | DN40 | CF-F | 氟橡膠 | -20~+150°C | 鍍膜設(shè)備進(jìn)氣閥 |
| VAT 47552-MM | DN160 | ISO-K | 金屬密封 | -200~+250°C | 半導(dǎo)體刻蝕機(jī) |
| VAT 47652-AA | DN63 | CF-F | 氟橡膠 | -20~+150°C | 光伏組件真空系統(tǒng) |
四、核心技術(shù)參數(shù)
真空性能：
漏率：氟橡膠版<1×10?? mbar·L/s，金屬密封版<1×10?11 mbar·L/s
耐壓差：標(biāo)準(zhǔn)版1×10?? mbar至大氣壓（金屬密封版可達(dá)10?12 mbar）
機(jī)械特性：
驅(qū)動(dòng)方式：?jiǎn)?雙作用氣動(dòng)（需0.4~0.6MPa壓縮空氣）
啟閉時(shí)間：<1秒（DN40以下規(guī)格）
循環(huán)壽命：>100萬(wàn)次（金屬密封版>50萬(wàn)次）
環(huán)境適應(yīng)性：
氟橡膠版耐溶劑性：兼容丙酮、酒精（不兼容強(qiáng)酸）
金屬密封版烘烤溫度：最高250°C（需選配高溫電磁閥）
五、選型關(guān)鍵步驟
確定通徑：根據(jù)管道尺寸選擇DN16/DN40/DN63/DN160等
選擇密封：
氟橡膠（AA）：成本低，適合一般真空（≤10?? mbar）
金屬密封（MM）：超高真空（≤10?11 mbar），耐高溫
匹配法蘭：
CF法蘭：超高真空標(biāo)準(zhǔn)（半導(dǎo)體行業(yè)）
ISO-K法蘭：大流量應(yīng)用（如鍍膜設(shè)備）
驅(qū)動(dòng)配置：
單作用（彈簧復(fù)位）：斷電自動(dòng)關(guān)閉
雙作用：需雙向氣控，響應(yīng)更快
六、安裝與維護(hù)要點(diǎn)
安裝規(guī)范：
閥體箭頭方向需與氣流方向一致
法蘭螺栓需對(duì)角逐步擰緊（扭矩參考VAT技術(shù)手冊(cè)）
維護(hù)建議：
氟橡膠密封圈每2年更換（頻繁使用工況）
金屬密封閥每5年做氦質(zhì)譜檢漏
七、典型故障處理
| 故障現(xiàn)象 | 可能原因 | 解決方案 |
|---|---|---|
| 閥門無(wú)法關(guān)閉 | 氣源壓力不足/密封圈磨損 | 檢查氣路（≥0.4MPa），更換密封件 |
| 真空度不達(dá)標(biāo) | 法蘭密封面污染 | 用無(wú)塵布蘸酒精清潔密封面 |
| 啟閉速度變慢 | 電磁閥故障/氣缸漏氣 | 更換驅(qū)動(dòng)電磁閥（推薦Festo或SMC） |
八、中國(guó)市場(chǎng)的替代方案
國(guó)產(chǎn)替代：
北京中科科儀 ZK系列角閥（DN16~DN200，漏率<5×10?? mbar·L/s）
日系品牌：
SMC VXH系列（適用于中低真空，性價(jià)比高）
交貨周期：常規(guī)型號(hào)庫(kù)存2-4周，定制閥體需8-12周
瑞士VAT真空閥47系列
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