晶圓檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)專用PSL標(biāo)準(zhǔn)球
- 公司名稱 上海伊普瑞生物科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/11 14:06:17
- 訪問次數(shù) 28
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),綜合 |
|---|
PSL 小球是半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵計(jì)量工具，其主要成分為單分散聚苯乙烯微球，我司可提供特定尺寸PSL粒度標(biāo)準(zhǔn)品微球，專門用來(lái)校準(zhǔn)和維護(hù)掃描表面檢測(cè)系統(tǒng)（SSIS)。 在半導(dǎo)體工業(yè)中，SSIS掃描表面檢測(cè)系統(tǒng)是一種關(guān)鍵設(shè)備，主要用于檢測(cè)晶圓（Wafer）表面的缺陷如晶圓表面的顆粒、劃痕、殘留物、晶體缺陷等。SSIS系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造過(guò)程中至關(guān)重要，因?yàn)榧词故俏⑿〉谋砻嫒毕菀部赡軐?duì)芯片的性能和良率產(chǎn)生重大影響。
上海伊普瑞生物科技有限公司可提供PSL標(biāo)準(zhǔn)球粒徑覆蓋 50nm 至 100μm，通過(guò)TEM,SEM以及激光粒度儀等檢測(cè)方法確保尺寸精確。經(jīng)實(shí)際測(cè)試，我司該產(chǎn)品粒徑精確度可媲美進(jìn)口產(chǎn)品Surf-Cal 標(biāo)準(zhǔn)粒子質(zhì)量。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1. 粒徑發(fā)布窄
單分散性能優(yōu)異，粒徑分布變異系數(shù)CV≤3%
2. 穩(wěn)定性與適配性
水性懸浮液封裝，含痕量SDS表面活性劑防止團(tuán)聚。
3. 多功能應(yīng)用
同時(shí)滿足SSIS晶圓檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)、掩模板缺陷標(biāo)記分析、污染物模擬及工藝驗(yàn)證等多場(chǎng)景需求。
4. 免費(fèi)供樣
可提供免費(fèi)樣品供客戶驗(yàn)證比對(duì)
產(chǎn)品應(yīng)用
一、晶圓檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)應(yīng)用
1. 掃描表面檢測(cè)系統(tǒng)（SSIS) 校準(zhǔn)和維護(hù)
掃描電子顯微鏡（SEM）與原子力顯微鏡（AFM）校準(zhǔn)：
驗(yàn)證 SEM 對(duì)納米級(jí)特征（如線條寬度、通孔直徑）的測(cè)量精度。
校準(zhǔn) AFM 三維形貌掃描的垂直分辨率（如 CMP 工藝后的表面粗糙度）。
2.光學(xué)顆粒計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)
模擬 0.05μm~100μm 污染物，校準(zhǔn)激光散射設(shè)備的粒徑識(shí)別閾值與計(jì)數(shù)效率。
二、污染物檢測(cè)方法優(yōu)化
靈敏度評(píng)估：
沉積已知濃度 PSL（如 1000 個(gè) /cm2），通過(guò)暗場(chǎng)檢測(cè)或 SEM 分析，驗(yàn)證設(shè)備對(duì) 0.2μm 顆粒的檢出率。
清洗工藝驗(yàn)證：
對(duì)比清洗前后 PSL 殘留率，量化評(píng)估兆聲波、毛刷清洗等工藝的有效性。
缺陷定位與標(biāo)記：
選擇性吸附于劃痕、凹坑等缺陷處，通過(guò)熒光顯微鏡快速定位，支持工藝優(yōu)化。
三．掩模板檢測(cè)應(yīng)用
1. 缺陷模擬與檢測(cè)開發(fā)
EUV 掩模板檢測(cè)：
100nm PSL 模擬多層膜相位缺陷，優(yōu)化暗場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng)的分辨率與數(shù)值孔徑（NA）。
算法驗(yàn)證：
構(gòu)建 PSL 缺陷庫(kù)（不同形狀、位置）訓(xùn)練機(jī)器學(xué)習(xí)模型，提升缺陷分類準(zhǔn)確率。
2. 清潔效果評(píng)估
等離子體 / 毛刷清潔驗(yàn)證：
通過(guò) AFM/SEM 觀察殘留 PSL 分布，評(píng)估清潔工藝對(duì)亞 100nm 顆粒的去除效率（行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)≤1 個(gè) /cm2）。
產(chǎn)品理化參數(shù)
| 物理參數(shù) | 詳情 |
|---|---|
| 成分 | 聚苯乙烯乳膠微球/PSL 小球 |
| 粒徑范圍 | 0.05um 至 160um |
| 密度 | 1.05g/cm3 |
| 折射率 | 1.59（589nm，25℃） |
| 儲(chǔ)存條件 | 2-8℃避光保存 |
| 有效期 | ≤24 個(gè)月 |
| 包裝 | 10ml 或 100ml 滴頭瓶，含微量表面活性劑 |
產(chǎn)品目錄
| 貨號(hào) | 粒徑 | 產(chǎn)品成分 | W/V | CV |
|---|---|---|---|---|
| EPRUI-N-PSL50 | 50nm | 聚苯乙烯 | 1% | <8% |
| EPRUI-N-PSL60 | 60nm | 聚苯乙烯 | 1% | <5% |
| EPRUI-N-PSL70 | 70nm | 聚苯乙烯 | 1% | <5% |
| EPRUI-N-PSL80 | 80nm | 聚苯乙烯 | 1% | <5% |
| EPRUI-N-PSL90 | 90nm | 聚苯乙烯 | 1% | <5% |
| EPRUI-N-PSL100 | 100nm | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-N-PSL200 | 200nm | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-N-PSL300 | 300nm | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-N-PSL400 | 400nm | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-N-PSL500 | 500nm | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-N-PSL600 | 600nm | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-N-PSL700 | 700nm | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-N-PSL800 | 800nm | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-N-PSL900 | 900nm | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL001 | 1um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL002 | 2um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL003 | 3um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL005 | 5um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL010 | 10um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL015 | 15um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL020 | 20um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL030 | 30um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL040 | 40um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL050 | 50um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL060 | 60um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL070 | 70um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL080 | 80um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL090 | 90um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
| EPRUI-M-PSL100 | 100um | 聚苯乙烯 | 5% | <3% |
如需要其他特殊粒徑，可聯(lián)系我們進(jìn)行定制！
產(chǎn)品使用注意事項(xiàng)
1. 分散處理：使用前輕柔搖勻，避免劇烈震蕩導(dǎo)致團(tuán)聚。
2. 濃度控制：稀釋至 1% 固體濃度，防止顆粒過(guò)密干擾檢測(cè)。
3. 環(huán)境要求：操作需在 ISO 4 級(jí)以上潔凈室中進(jìn)行，避免外來(lái)污染。
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