日本MITUTOYO三次元測(cè)量機(jī)LEGEX匠模型

日本MITUTOYO三次元測(cè)量機(jī)LEGEX匠模型

技術(shù)革新：納米級(jí)精度的再突破

LEGEX匠系列在標(biāo)準(zhǔn)LEGEX平臺(tái)基礎(chǔ)上進(jìn)行了多方位升級(jí)，其核心測(cè)量系統(tǒng)采用三豐最新研發(fā)的M-ULTRA Pro控制單元，搭配分辨率達(dá)1nm的超精細(xì)光柵尺。"雙閉環(huán)"溫控系統(tǒng)通過(guò)32個(gè)溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)，配合主動(dòng)補(bǔ)償算法，將溫度漂移影響控制在±0.1μm/℃以?xún)?nèi)。測(cè)量范圍覆蓋500×800×600mm的標(biāo)準(zhǔn)工作空間，在20±0.3℃恒溫環(huán)境下，空間測(cè)量精度可達(dá)(1.2+L/400)μm（L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位：mm），較普通工業(yè)機(jī)型提升近40%。

匠藝細(xì)節(jié)：手工調(diào)校的藝術(shù)

每臺(tái)LEGEX匠系列需經(jīng)過(guò)三道核心手工工序：首先由20年資歷的匠人進(jìn)行基礎(chǔ)框架的應(yīng)力釋放調(diào)校，采用傳統(tǒng)"叩き調(diào)整"技法，通過(guò)專(zhuān)用銅錘的輕微敲擊消除內(nèi)部應(yīng)力；其次進(jìn)行為期90天的自然時(shí)效處理，在特制恒溫室中完成材料穩(wěn)定；最后實(shí)施光學(xué)平面鏡手工研磨，確保導(dǎo)軌平面度≤0.3μm/100mm。關(guān)鍵部位的56顆緊固螺釘均采用特制鈹銅合金，經(jīng)手工扭矩校準(zhǔn)至0.02N·m精度。設(shè)備底部的紫銅銘牌刻有匠人親筆簽名和調(diào)校日期，成為身份標(biāo)識(shí)。

應(yīng)用價(jià)值：精密制造的方案

在半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)領(lǐng)域，某客戶(hù)使用LEGEX匠系列成功將300mm晶圓的平面度測(cè)量重復(fù)性提升至0.15μm，助力5nm制程工藝研發(fā)。光學(xué)元件制造商利用其亞微米級(jí)掃描功能，實(shí)現(xiàn)了自由曲面透鏡0.2μmPV值的高效檢測(cè)。手工紅寶石測(cè)頭系統(tǒng)，在測(cè)量高反光金屬表面時(shí)展現(xiàn)出的穩(wěn)定性，某航天企業(yè)用其完成渦輪葉片榫槽0.5μm級(jí)輪廓檢測(cè)。隨設(shè)備附贈(zèng)的匠藝傳承手冊(cè)，詳細(xì)記錄每道工序的技術(shù)要點(diǎn)，既是使用指南，更是精密制造的文化載體。