LAB165S系列 氣浮直驅直線臺是納米級定位精度的氣浮平臺，采用直線電機驅動，利用空氣彈性勢能作為支撐導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率最大可達120Hz以上。LAB165S平臺采用磁預載技術，利用空氣導軌支撐滑塊運動，同時利用磁場產生反向壓力保證空氣導軌的正常氣隙。專業(yè)的設計鑄就了LAB165S平臺杰出的幾何性能，在200mm行程內，其平面度和直線度小于±0.6μm，Pitch/Yaw/Roll擺角指標小于±2.5 arc sec，適用于半導體等對潔凈程度要求較高或者對直線度和平面度要求比較高的應用。

LAB165S系列 氣浮直驅直線臺有較強的驅動能力，最大空載速度1000mm/s，空載加速度可達0.5g，主要應用于光學透鏡檢測，半導體領域的晶圓缺陷檢測，精密制造和封裝，可以根據客戶的應用提供靈活的定制方案。

LAB165S系列平臺最小步進測試

10nm最小步進（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

20nm最小步進（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

LAB165S系列平臺動態(tài)性能測試

2.2mm@40ms@±350nm（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

備注：

（1）適配-ASH反饋，配置線性放大器；

（2）空載，需配置相應功率的放大器；

（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平臺實際負載重量可調。

（5）為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）端口。