SurfaceZ系列 電動直驅(qū)升降臺是納米級定位精度的垂直運動Z向平臺，直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)200Hz以上。

SurfaceZ系列 電動直驅(qū)升降臺是Surface系列運動平臺的有效補(bǔ)充，可以與Surface-Theta或者Surface-350-350平面氣浮組成多軸系統(tǒng)來滿足客戶應(yīng)用。在一些嚴(yán)苛的半導(dǎo)體應(yīng)用案例中，對整體運動系統(tǒng)有苛刻的精度和幾何性能要求，Surface系列可以為這類應(yīng)用提供整體解決方案。SurfaceZ平臺側(cè)向高度低，阿貝誤差小且節(jié)省空間，內(nèi)置氣動平衡裝置最大承載15kg負(fù)載，可以同時滿足重負(fù)載，高精度和低側(cè)面的要求。

SurfaceZ平臺結(jié)構(gòu)緊湊小巧，但是有較高的定位精度，配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，SurfaceZ平臺的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量可以小于5nm，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻、檢測和封裝、外形輪廓測量、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

SurfaceZ系列升降臺最小步進(jìn)測試

5nm 步進(jìn)（配置線性放大器）

0.1mm 步進(jìn)，50ms整定到±50nm

備注：

（1）平行或垂直于楔形塊方向測量；

（2）沿軸線方向受力；不帶氣動平衡負(fù)載能力為8kg；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測試；

（5）默認(rèn)測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實際載荷和工作點位置有關(guān)；

（6）其他行程可定制。