產(chǎn)品概述

ZYGO Qualifire系列是美國(guó)ZYGO公司推出的高性能激光干涉儀產(chǎn)品，專為光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的快速、精確測(cè)量而設(shè)計(jì)。作為全球光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域的，ZYGO的Qualifire系列結(jié)合了優(yōu)良的激光干涉技術(shù)和用戶友好的操作界面，為光學(xué)制造、科研和質(zhì)量控制提供了可靠的測(cè)量解決方案。美國(guó)ZYGOQualifire干涉儀

核心技術(shù)與特點(diǎn)

1. 高精度測(cè)量能力

• 采用穩(wěn)定的He-Ne激光源，波長(zhǎng)穩(wěn)定性達(dá)±0.05ppm

• 波前測(cè)量精度優(yōu)于λ/20 (λ=632.8nm)

• 相位測(cè)量分辨率達(dá)到λ/1000

2. 模塊化設(shè)計(jì)

• 可配置多種傳輸鏡頭和適配器

• 支持平面、球面和非球面光學(xué)元件的測(cè)量

• 靈活的系統(tǒng)擴(kuò)展能力，可集成自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

3. 快速測(cè)量

• 的動(dòng)態(tài)干涉技術(shù)(Dynamic Interferometry®)

• 單次采集時(shí)間可短至1/60秒

• 振動(dòng)不敏感設(shè)計(jì)，適合生產(chǎn)車間環(huán)境

4. 智能分析軟件

• MetroPro®專業(yè)分析軟件平臺(tái)

• 自動(dòng)化測(cè)量流程和報(bào)告生成

• 符合ISO和MIL標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)分析功能

主要應(yīng)用領(lǐng)域

• 光學(xué)制造：透鏡、反射鏡、棱鏡等光學(xué)元件的面形檢測(cè)

• 精密工程：機(jī)械零件平面度、平行度測(cè)量

• 半導(dǎo)體工業(yè)：光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)

• 科研機(jī)構(gòu)：天文望遠(yuǎn)鏡、激光系統(tǒng)等大型光學(xué)裝置檢測(cè)

• 質(zhì)量控制：生產(chǎn)線上的快速光學(xué)元件檢測(cè)

產(chǎn)品系列

Qualifire系列包含多個(gè)型號(hào)，滿足不同應(yīng)用需求：

1. Qualifire® Classic：基礎(chǔ)型號(hào)，適用于大多數(shù)平面和球面光學(xué)檢測(cè)

2. Qualifire® Asphere：配備專用軟件和硬件，支持非球面測(cè)量

3. Qualifire® IR：紅外版本，支持中紅外光學(xué)元件檢測(cè)

4. Qualifire® Fizeau：斐索型干涉儀，用于高精度絕對(duì)測(cè)量

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

ZYGO Qualifire系列相比傳統(tǒng)干涉儀具有顯著優(yōu)勢(shì)：

1. 環(huán)境適應(yīng)性：優(yōu)良的振動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)，降低了對(duì)隔震平臺(tái)的要求

2. 操作簡(jiǎn)便：直觀的用戶界面，縮短了操作人員培訓(xùn)時(shí)間

3. 測(cè)量效率：快速采集和分析能力，大幅提高檢測(cè)吞吐量

4. 數(shù)據(jù)可靠性：經(jīng)過驗(yàn)證的測(cè)量算法，確保數(shù)據(jù)的一致性和可追溯性

服務(wù)與支持

ZYGO為Qualifire用戶提供全面的技術(shù)支持：

• 全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)

• 定期校準(zhǔn)服務(wù)

• 軟件升級(jí)和維護(hù)

• 應(yīng)用工程師技術(shù)支持

結(jié)語

ZYGO Qualifire激光干涉儀代表了現(xiàn)代光學(xué)計(jì)量技術(shù)的優(yōu)良水平，其的性能和可靠性使其成為光學(xué)制造和質(zhì)量控制領(lǐng)域的理想選擇。無論是研發(fā)實(shí)驗(yàn)室還是批量生產(chǎn)環(huán)境，Qualifire系列都能提供精確、高效的測(cè)量解決方案，幫助用戶提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。美國(guó)ZYGOQualifire干涉儀