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技術(shù)文章
日本ULVAC CFB-600N耐腐蝕分子泵技術(shù)參數(shù)
點擊次數(shù)：1120 發(fā)布時間：2015-12-29
一、產(chǎn)品簡介
CFB-N系列耐腐蝕分子泵其葉輪采用國內(nèi)*的變截面葉齒，軸承采用陶磁精密軸承，以更高的可靠性實現(xiàn)了清潔無油的高真空環(huán)境，產(chǎn)品做了耐腐蝕的設(shè)計，具有*的耐腐蝕性能，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點
- 由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
- 軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承，可以實現(xiàn)泵的任意角度安裝。
三、主要性能指標
型號 | CFB-600N | ||
進氣口法蘭 | — | LF160 | CF150 |
排氣口法蘭 | — | KF40 | |
抽氣速率 | L/s | 600 | |
壓縮比N2/H2 | — | 1×109/8×103 | |
極限壓強 | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
電機轉(zhuǎn)速 | rpm | 24000 | |
啟動時間 | min | ＜4.5 | |
使用場合 | — | 耐腐蝕 | |
振動值 | μm | ≤0.1 | |
前極泵 | L/s | 4-8 | |
冷卻水溫度 | ℃ | ≤20 | |
泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 | |
冷卻水流量 | L/min | 1 | |
加熱器功率 | W | <550 | |
加熱器輸入電壓 | V | AC220 | |
安裝方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～29 | |
四、特性曲線及安裝尺寸
CFB系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線
CFB系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線
CFB-N系列耐腐蝕復(fù)合分子泵安裝尺寸表
型號規(guī)格 | CFB-600N | |
高真空法蘭 | LF160 | CF150 |
D1 | Ф180 | Ф202 |
D2 | Ф236 | Ф236 |
D3 | □145.7 | □145.7 |
L1 | 128 | 128 |
L2 | 137 | 137 |
H1 | 395.5 | 395.5 |
H2 | 108 | 108 |
H3 | 135.5 | 135.5 |
H4 | 104 | 104 |
泵腿螺釘孔 | 4-M8 | 4-M8 |