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貨物所在地:上海上海市
更新時間:2025-04-18 21:00:08
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柔性印模在中心彎曲,并與涂有抗蝕劑的基材接觸。接觸波徑向延伸至基板的外邊緣。作為***終結果步驟:抗蝕劑固化(例如通過UV照射)。然后將堆疊分離,并將圖案的負片特征保留在基底上的抗蝕劑中需要精確的楔塊誤差補償和間隙設置因此,壓印光刻的關鍵因素。SUSS掩模對準器平臺提供主動楔形誤差采用壓電線性電路的補償系統(tǒng)致動器、高精度間隙測量系統(tǒng)和力檢測器。這實現(xiàn)了精確的橫向和軸向將印模對準基底。