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自動晶圓傳送機是自動把FOUP盒晶圓傳送給FOSB盒的設備。mapped晶片在晶圓盒中緩慢地整體提升；最大限度地減少與晶圓框架盒的接觸，消除顆粒、磨損或晶片邊緣剝落的風險。
自動晶圓傳送機堅固的結構確保了高可靠性、低維護,節(jié)省了寶貴的潔凈室空間。
自動晶圓傳送機抗靜電結構專為ISO 3級設計。
自動晶圓傳送機特點
觸摸屏控制
FOUP給FOSB
映射功能檢查是否存在交叉槽、雙堆疊和晶片
PVDF涂層棒一次傳送25個晶片
自動晶圓傳送機規(guī)格參數
| 適合晶圓尺寸 | 300mm |
|---|---|
| 供電要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately |
| 吞吐量 | 60晶圓盒/小時 |
| 重量 | 約38kg |
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