干法刻蝕機ES373是大規(guī)模集成電路設計的精細工藝干法刻蝕系統(tǒng)。該
干法刻蝕機專門用于大規(guī)模集成電路(LSI)失效分析,具有在多層器件上進行高寬高比刻蝕的能力,具有*的功能和易用性。
干法刻蝕機特點
存儲可變蝕刻條件的存儲器功能。
食譜記憶函數(shù)步程序函數(shù)
節(jié)省蝕刻條件,易于維護
運行歷史記錄
帕爾貼裝置對舞臺溫度的控制
工藝氣體管道VCR接頭
干式泵


干法刻蝕機ES373是大規(guī)模集成電路設計的精細工藝干法刻蝕系統(tǒng)。該
干法刻蝕機專門用于大規(guī)模集成電路(LSI)失效分析,具有在多層器件上進行高寬高比刻蝕的能力,具有*的功能和易用性。
干法刻蝕機特點
存儲可變蝕刻條件的存儲器功能。
食譜記憶函數(shù)步程序函數(shù)
節(jié)省蝕刻條件,易于維護
運行歷史記錄
帕爾貼裝置對舞臺溫度的控制
工藝氣體管道VCR接頭
干式泵

