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更新時間：2024-08-29 14:45:59
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12英寸晶圓輪廓儀是為半導體晶圓形貌測量設計的多功能晶圓形貌儀器，集成光學傳感器,實現(xiàn)無接觸地測量樣本。
12英寸晶圓輪廓儀為半導體應用而開發(fā)，適用于12''晶圓檢查,具有自對準功能
12英寸晶圓輪廓儀已應用于雕刻測量、紋理、拋光或微結構表面狀態(tài)，尤其是在半導體晶圓的形貌測量。
**技術
彩色共焦
可見光和紅外干涉測量
激光三角測量
所有表面均可測量（粗糙的,透明的，拋光的表面等）
12英寸晶圓輪廓儀規(guī)格參數(shù)
XYZ行程范圍：300mm x 300mm x 100mm
***大速度：40mm/s
軸向平整度：<5u/300mm
軸向分辨率：0.062um
測量傳感器：非接觸式共聚焦傳感器
測量范圍：100um-25mm
Z軸分辨率：可達3nm
橫向分辨率：0.9um
臺階高度測量：0.005%
粗糙度測量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測量厚度：4um
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