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FPIMI-NANO-納米操縱系統(tǒng)
  • FPIMI-NANO-納米操縱系統(tǒng)
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貨物所在地:上海上海市

地: 進(jìn)口

更新時(shí)間:2024-08-30 16:27:54

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納米操縱系統(tǒng)采用納米探針模塊nanoprober為顯微鏡或電鏡下微納操作提供納米級(jí)微操縱方案,非常適合SEM和各種電鏡樣品微操作使用
納米操縱系統(tǒng)采用納米探針模塊nanoprober為顯微鏡或電鏡下微納操作提供納米級(jí)微操縱方案,非常適合SEM和各種電鏡樣品微操作使用。
納米操縱系統(tǒng)布局非常方便,可快速增加或移除納米探針模塊,調(diào)整定位和方向,也可以現(xiàn)場(chǎng)遠(yuǎn)程控制。
納米操縱系統(tǒng)可以與各種高分辨率電鏡,SEM匹配使用,采用磁性鏡頭設(shè)計(jì),可與市場(chǎng)上主流掃描電鏡聯(lián)合使用,即使在加速電壓低于0.5kV也能充分施展高分辨率性能。
納米操縱系統(tǒng)的安裝非常方便,不需要改造原有的掃描電鏡,幾分鐘即可完成安裝。
納米操縱系統(tǒng)
納米操縱系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)(單個(gè)納米探針模塊規(guī)格)

自由度:4個(gè)獨(dú)立的自由度X,Y,Z,R

尺寸:主體20.5mm x 21.7x 12.5mm, 機(jī)械臂8.3mm

重量:12g

最大定位分辨率:Stepping模式下:60nm(X,Y), 120nm(Z)

Scanning模式下:0.02nm(X,Y), 0.1nm(Z)

運(yùn)動(dòng)范圍: Stepping模式:20x20mm(XY), +/-180度(R), 41度(Z)

Scanning模式:440x250x780nm (XYZ)

運(yùn)動(dòng)速度:1.5mm/s (XY), 150mrad/s(Z)

力/力矩: 推力0.3N (XY), 升力:0.7mNm(5g) (Z), hold力: 0.2N (XY), 0.9mNm(6g) (Z)

Tilt 角:最高55度

漂移:<1nm /min

電學(xué)探針規(guī)格:

電壓范圍:+/-100V

電流范圍:100mA

漏電流:<100fA/V

帶寬:最大25MHZ

電阻:約為3.5歐姆


納米操縱系統(tǒng)
納米操縱系統(tǒng)各種布局




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