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主要特點：

成熟的模塊化工藝組合

可面向用戶工藝需要，定制化設(shè)計

已應(yīng)用于20nm級別IC工藝線

針對LED生產(chǎn)線，提高整體解決方案

全自動清洗/手動清洗可選

整機(jī)防漏液設(shè)計

廣泛應(yīng)用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導(dǎo)體材料等行業(yè)

標(biāo)準(zhǔn)配置：

高純進(jìn)口板材

高結(jié)晶工藝管道

高潔凈氣動閥門

防腐機(jī)械手

伺服電機(jī)驅(qū)動

人機(jī)對話界面，觸摸屏操作

標(biāo)準(zhǔn)工藝模塊

SC-I溶液腐蝕槽

SC-II溶液腐蝕槽

SC-III溶液腐蝕槽

QDR槽

循環(huán)清洗槽

超聲/兆聲清洗槽

可選模塊：

鼓氮

水溶超聲/水浴兆聲槽

槽內(nèi)加熱/制冷循環(huán)

漏液檢測

水阻檢測

自動供液系統(tǒng)

自動配液系統(tǒng)

自動滅火系統(tǒng)（有機(jī)清洗）

ESD功能（有機(jī)清洗）

MES接口（可選）