日本新宇宙 半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703D型
半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703D型
特點(diǎn): 檢測(cè)對(duì)象氣體 半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等) 檢測(cè)原理 型半導(dǎo)體式 采樣方式 自動(dòng)吸引式 可檢測(cè)濃度 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 檢測(cè)表示 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 應(yīng)答速度 10秒以內(nèi)
于檢測(cè)半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
采用聲光報(bào)警。
規(guī)格
型 號(hào) XP-703D
(單位:ppm)
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0