會(huì)員.png)
QQ交談
您所在位置：產(chǎn)品搜索
請(qǐng)輸入產(chǎn)品關(guān)鍵字：
聯(lián)系方式
地址：北京回龍觀西大街115號(hào)龍冠大廈410
郵編：102208
聯(lián)系人：付經(jīng)理
電話：010-52571502
傳真：QQ：2459729122
手機(jī)：15910725349
留言：發(fā)送留言
網(wǎng)址：www.hedebio.com
商鋪：http://m.911xiazai.com/st121773/
郵編：102208
聯(lián)系人：付經(jīng)理
電話：010-52571502
傳真：QQ：2459729122
手機(jī)：15910725349
留言：發(fā)送留言
網(wǎng)址：www.hedebio.com
商鋪：http://m.911xiazai.com/st121773/
供求商機(jī)
EMS 150 -EMS 150 膜厚監(jiān)控儀（Film Thickness Monitor）
- 發(fā)布日期：
- 有效日期：
- 所 在 地：
- 產(chǎn) 地：
- 已獲點(diǎn)擊：
- 2025年2月22日
- 2025年8月22日
- 北京北京市
- 美國
- 491次
【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
EMS 150 膜厚監(jiān)控儀(Film Thickness Monitor)和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用，以便對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。
【詳細(xì)說明】
EMS 150 膜厚監(jiān)控儀（Film Thickness Monitor）和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用，以便對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。
石英是離子型的晶體，當(dāng)發(fā)生拉伸或壓縮時(shí)能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象，稱為壓電，這是因?yàn)槠浣Y(jié)晶點(diǎn)陣的有規(guī)則分布所致。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸，切割類型，而且還取決于芯片的厚度。當(dāng)芯片上鍍了某種膜層后，芯片的厚度增大，則芯片的固有頻率會(huì)相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過測(cè)量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。
膜厚監(jiān)控儀（FTM）是如何工作的呢？鍍膜時(shí)，膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動(dòng)，測(cè)試每秒鐘振動(dòng)次數(shù)的改變，從所接受的數(shù)據(jù)中計(jì)算膜層的厚度。
儀器參數(shù)：
| 儀器尺寸 | 300mm （W） x 150mm （D） x 75mm （H） |
| 重量 | 6Kg |
| 可配套儀器 | EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, EMS 675, EMS 950, and the EMS 975 |
| 晶片座 | 置晶片裝置 |
| 密度范圍 | 1.55 to 23.0g/cm-3 |
| 測(cè)控范圍 | 5 to 999nm |
| 鍍碳時(shí)精度 | 0.8nm |
| 鍍金時(shí)精度 | 0.1nm |
| 電源 | 230V 50 Hz （3 Amp Max） |
訂購信息：
| 貨號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 規(guī)格 |
| 91006 | EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone. | 臺(tái) |
| 91006-M | EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module | 臺(tái) |
| 91008 | Spare Crystals | 盒 |
| 91009 | Spare Glass Cylinder | 個(gè) |