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Novascan紫外臭氧清洗儀
PSD-UV系列

PSD系列產(chǎn)品是數(shù)字控制的臺(tái)式清洗設(shè)備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設(shè)備配備一個(gè)帶反射罩的高強(qiáng)度UV格柵燈盤, 和可調(diào)節(jié)高度的樣品臺(tái)，用于優(yōu)化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統(tǒng)具有進(jìn)出氣接口。該系統(tǒng)由一個(gè)方便的預(yù)設(shè)置控制器控制，非常容易操作。

Novascan紫外臭氧清洗儀

PSD-UV系列

PSD系列產(chǎn)品是數(shù)字控制的臺(tái)式清洗設(shè)備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設(shè)備配備一個(gè)帶反射罩的高強(qiáng)度UV格柵燈盤, 和可調(diào)節(jié)高度的樣品臺(tái)，用于優(yōu)化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統(tǒng)具有進(jìn)出氣接口。該系統(tǒng)由一個(gè)方便的預(yù)設(shè)置控制器控制，非常容易操作。

•預(yù)設(shè)置的數(shù)字控制器
•方便簡(jiǎn)單的兩按鍵操作

•自動(dòng)工作：15.30.60.120分鐘
•工作進(jìn)程可以在任何時(shí)候手工終止
•系統(tǒng)不能提供加熱盤選項(xiàng)
•經(jīng)濟(jì)實(shí)用的設(shè)計(jì)使得PSD系列成為受歡迎的選擇

•容易安裝和使用

PSD Pro系列

PSDP 系列產(chǎn)品是研究級(jí)的紫外臭氧清洗系統(tǒng)，具有良好的靈活性，能滿足有機(jī)分子去除和其他眾多的應(yīng)用?？梢灾苯釉诳諝庵胁僮鳎蚴峭ㄟ^其中一個(gè)進(jìn)氣口通入氧氣來增加臭氧產(chǎn)生?？删幊虜?shù)字控制器可以控制系統(tǒng)進(jìn)程，來確保精確時(shí)間和優(yōu)化清洗參數(shù)。

•可編程數(shù)字控制器
•數(shù)字顯示倒計(jì)時(shí)
•輕松升級(jí)到熱盤選項(xiàng)
•可執(zhí)行暫停和終止指令
•內(nèi)部存儲(chǔ)器用于記錄之前的參數(shù)設(shè)置
—— 一個(gè)強(qiáng)大的系統(tǒng)，提供了增強(qiáng)的進(jìn)程控制！

PSDP-UVT Pro系列

PSDP-UVT Pro系列帶有PID控制的樣品加熱階段，可以應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、光學(xué)和科研領(lǐng)域。水銀蒸汽燈產(chǎn)生紫外線和臭氧，能夠自動(dòng)清潔硅、氮化硅、玻璃、金屬、陶瓷和其他材料。PSDP-UVT系列產(chǎn)品同樣可以用來UV治療、UV圖形化、塑造AFM探針形狀以及臭氧刻蝕。

PSDP-UVT Pro系列產(chǎn)品附帶的加熱板可以加速很多應(yīng)用的清潔過程。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

•數(shù)字控制加熱階段到150攝氏度

•PSDP-UVT能移除有機(jī)污染物

•紫外燈等產(chǎn)生的紫外光波長(zhǎng)范圍為185nm到254nm

•產(chǎn)生臭氧和分子激發(fā)

•在周圍空氣或氧氣常壓下操作

•多種氣體端口用來進(jìn)氣

一般特性：

電源：100.120.220.240VAC.50-60周期。
樣品高度：所有系統(tǒng)都配置可調(diào)節(jié)高度的樣品臺(tái)，調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，并帶位置鎖定，標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)尺寸為UV格柵燈大小或更大。
UV格柵燈：產(chǎn)生臭氧的低壓汞格柵燈，帶反射罩。燈管壽命大約為5000小時(shí)。
UV反射罩：UV反射罩一般比UV格柵燈大一英寸。比如4×4英寸燈管反射罩尺寸是5×5英寸。
樣品放置：打開清洗腔上蓋，露出樣品臺(tái)，允許360度裝入樣品。
安全裝置：當(dāng)清洗腔打開時(shí)，系統(tǒng)安全鎖會(huì)關(guān)掉UV燈。
進(jìn)出氣口：標(biāo)準(zhǔn)配置2個(gè)氣接口，可選更多。（PSD-UV3為選項(xiàng)）
真空反應(yīng)腔：選項(xiàng)客戶化定制，鋁或石英材料。

臭氧中和器：中和器和泵用于臭氧排除。（PSD和PSDP選項(xiàng)）

PSD系列產(chǎn)品通過產(chǎn)生185nm和254nm高強(qiáng)度UV光分解有機(jī)分子（污染物）。185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時(shí)激發(fā)表面的有機(jī)分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時(shí)間短并且同時(shí)也被254nm光分解，樣品臺(tái)可以調(diào)節(jié)樣品到燈管的距離來優(yōu)化性能。PSD和PSDP分解有機(jī)污染物，然后形成CO2和H2O蒸氣，同時(shí)也將臭氧分子轉(zhuǎn)變成氧分子。