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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> R-50-電阻率測(cè)試儀
KLA薄膜電阻測(cè)量技術(shù)電阻率測(cè)試儀包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。
Filmetrics的R50系列方塊電阻測(cè)量儀器可測(cè)量沉積在各種基材上的導(dǎo)電片和薄膜，跨越10個(gè)數(shù)量級(jí)范圍電阻率，包括：
半導(dǎo)體晶圓基板
玻璃基板
塑料（柔性）基材
PCB圖案特征
太陽能電池
平板顯示層和圖案化特征
金屬箔
二、電阻率測(cè)試儀主要功能
l 技術(shù)規(guī)格
測(cè)量范圍：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
測(cè)量精度： +/- 1%；
重復(fù)度： 小于 0.2%；
樣品圖中無*的測(cè)量點(diǎn)位，自定義測(cè)量Recipe，可線性、矩形、
極坐標(biāo)以及自定義等。
Model | Description |
R50-4PP | 四探針測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm 可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-EC | 非接觸渦流測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm 可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-200-4PP | 四探針測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm 可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量 |
R50-200-EC | 非接觸渦流測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm 可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量 |
三、應(yīng)用
支持廣泛的測(cè)量，包括但不限于以下各項(xiàng)：
金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率、摻雜濃度等。
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