產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
一、潔凈室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。按照慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非*沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
二、潔凈室的分類(lèi)
(一)按用途分類(lèi)(分為兩大類(lèi))
1.工業(yè)潔凈室以無(wú)生命微粒的控制為工作對(duì)象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)、(半導(dǎo)體、集成電路等)、宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤(pán)、膠片、磁帶生產(chǎn))、LED(液晶玻璃)、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭等多行業(yè)。
2.生物潔凈室以控制有生命微粒(細(xì)菌)與無(wú)生命微粒(塵埃)對(duì)工業(yè)對(duì)象的污染。又分為:
A.一般生物潔凈室:主要控制微生物(細(xì)菌)對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能接受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保持正壓。實(shí)際上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例如:制藥工業(yè)、醫(yī)院、(手術(shù)室、無(wú)菌病房)、食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室、血站等。
B.生物學(xué)安全潔凈室:主要控制對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染,內(nèi)部要保持負(fù)壓。
例如:細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)潔凈試驗(yàn)室、生物工程(重組基因、疫苗制備)。
(二)按氣流分類(lèi)
1.單向流潔凈室
1)單向流以均勻的截面速度,沿著平行線(xiàn)以單一的方向在整個(gè)室天花截面下通過(guò)潔凈室.單向流潔凈室靠送風(fēng)氣流“活塞”般的擠壓作用。迅速把室內(nèi)污染排回風(fēng)道。
2)要想實(shí)現(xiàn)“活塞流"的作用,zui重要的是高效過(guò)慮器必須布滿(mǎn)。但是由于高效過(guò)慮器有邊框,放置高效過(guò)慮器也要有支架,不可能布滿(mǎn)。所以我國(guó)《潔凈廠(chǎng)設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定,垂直流潔凈室滿(mǎn)布不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部里我流了。
2.亂流潔凈室
1)定義:亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),伴有回流或渦流的潔凈室。
2)原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,把室內(nèi)污染逐漸排出,來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級(jí)以上到30萬(wàn)級(jí)凈化級(jí)別)。
3)特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級(jí)別。換氣次數(shù)決定定義的凈化級(jí)別(換氣次數(shù)越多,凈化級(jí)別越高)
①自?xún)魰r(shí)間:是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室,室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。
1,000級(jí) 希望不超過(guò)20min(分鐘)(可取15min計(jì)算)
10,000級(jí) 希望不超過(guò)30min(分鐘)(可取25min計(jì)算)
100,000級(jí) 希望不超過(guò)40min(分鐘)(可取30min計(jì)算)
②換氣次數(shù)(按上述自?xún)魰r(shí)間要求設(shè)計(jì))
百級(jí)區(qū)斷面風(fēng)速:0.25-0.35m/s;
1,000級(jí) 43.5-55.3次小時(shí)(規(guī)范:50次/小時(shí))
10,000級(jí) 23.8-28.6次/小時(shí)(規(guī)范:25次小時(shí))
100,000級(jí) 14.4-19.2次/小時(shí)(規(guī)范:15次/小時(shí))
壓差:不同級(jí)別房間≥5Pa;對(duì)室外≥10Pa
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季<26℃±2℃;
相對(duì)濕度:45-65%(RH);
噪聲≤60dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的10%-30%;
工作區(qū)照度:≥250Lux,一般區(qū)照度:≥150Lux,