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總評
        奧林巴斯半導(dǎo)體自動檢查顯微鏡MX61A支持300mm硅晶圓檢查及分析。實現(xiàn)了顯微鏡觀察中所需操作的自動化及電動化，具有使用1臺顯微鏡即可進行檢查及分析的靈活性和擴展性。MX61A采用的UIS 2*無限遠光學(xué)系統(tǒng)，提高了缺陷檢測能力。高品質(zhì)的UIS 2物鏡實現(xiàn)忠實的色彩再現(xiàn)，暗視野觀察時的亮度也提高至該公司原產(chǎn)品的4倍左右。通過采用新方式的自動對焦；（AF）實現(xiàn)了檢查及分析作業(yè)的效率化。配備有與物鏡的倍率和觀察方法切換產(chǎn)生聯(lián)動的、用于調(diào)節(jié)出*亮度及對比度的自動調(diào)光功能。此外，AF方面采用了對焦精度及速度更出色的多點對焦方式，從而提高了對焦時的穩(wěn)定性。具有電動載物臺、數(shù)碼相機及深紫外線觀察系統(tǒng)等多種擴展性系統(tǒng)配置。

對應(yīng)檢查需求的搭配組合

        靈活地應(yīng)對不斷變化的檢查需求，這就是檢查引擎（Inspection-Engine）。
        作為核心對MX61A系統(tǒng)全體進行控制的是操作單元。預(yù)先設(shè)置的觀察條件可由操作員（觀察者）隨時調(diào)用，也可以多人共享?？梢赃x擇適應(yīng)了使用環(huán)境的菜單的操作單元和對應(yīng)各種觀察方法的自動對焦單元，提供了更高水準的檢查環(huán)境。
        

                                               操作單元“OPERATOR（操作員）”操作畫面

適應(yīng)使用環(huán)境、可以分開使用的操作單元

        操作單元備有三個操作畫面，觀察者高效率的操作顯微鏡。

    ·   網(wǎng)羅觀察的基本操作的“OPERATOR（操作員）”畫面 
    ·   更高級操作的“ENGINEER（工程師）”畫面
    ·   zui多可設(shè)置六個觀察條件，可隨時調(diào)用復(fù)雜條件設(shè)置的“FUNCTION（功能）”畫面

設(shè)置zui合適的觀察條件

        與物鏡選擇、觀察方法切換連動的亮度光圈（AS），以及物鏡之間的同一焦點校正、DIC延遲調(diào)節(jié)等均可通過操作單元觸摸面板進行設(shè)置。操作單元有三個“USER（用戶）”設(shè)置，可由多位操作員（觀察者）共享。

可以觸摸屏操作的手控開關(guān)
        配備了觸摸屏操作的手控開關(guān)，可以在檢查時執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的zui合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時的載物臺退出均可以執(zhí)行。

強大的缺陷檢查能力

        采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)（UIS2），特別增強了明視場、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認缺陷的能力。明視場圖像的色溫*化，實現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。

自動調(diào)節(jié)*亮度

        物鏡選擇和觀察方法切換連動，自動地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。

抑制影像中心偏移的UIS2物鏡

        在觀察視場狹窄的數(shù)碼影像中，為了不讓觀察對象偏離視場，高倍率物鏡的偏心精度提高了2倍。極大地減少了切換物鏡時產(chǎn)生的圖像中心的偏移。

        在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合，可以在一臺顯微鏡上進行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。
        觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。

實現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化

        符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關(guān)安全的基準），S8-0705（有關(guān)人體工程學(xué)的基準）和CE標識（歐洲強制性認證）等的標準。符合人體工程學(xué)和安全對策等，高水準的確保了可靠性。

        備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒。可以根據(jù)用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。

        傾斜觀察筒傾斜角／光路分割

全自動半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61A 規(guī)格