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探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)簡(jiǎn)介
點(diǎn)擊次數(shù)：1467 發(fā)布時(shí)間：2023-3-1
探針臺(tái)，是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電學(xué)性能測(cè)試的常用設(shè)備，也是各大實(shí)驗(yàn)室以及芯片設(shè)計(jì)、封裝測(cè)試的熟客。設(shè)備具備各項(xiàng)優(yōu)勢(shì)，高性能低成本，用途廣，操作方便，在不同測(cè)試環(huán)境下，測(cè)試結(jié)果穩(wěn)定，客觀，深受工程師們的青睞。
探針臺(tái)主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測(cè)試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號(hào)，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試，實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測(cè)試測(cè)量。半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備主要包括測(cè)試機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī)。在所有的測(cè)試環(huán)節(jié)中都會(huì)用到測(cè)試機(jī)，不同環(huán)節(jié)中測(cè)試機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺(tái)配合使用。
錦正茂高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)是具備提供高低溫、真空以及磁場(chǎng)環(huán)境的高精度實(shí)驗(yàn)臺(tái)，它的諸多設(shè)計(jì)都是專用的。因此，高低溫磁場(chǎng)探針臺(tái)的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計(jì)。例如，要求的磁場(chǎng)值，均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺(tái)的尺寸等，均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián)；位移臺(tái)還可與磁流體密封搭配，實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng)；除此之外，該探針臺(tái)和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場(chǎng)的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺(tái)主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化。
錦正茂高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)探針臺(tái)配備4個(gè)（可選6個(gè)或8個(gè)）擁有高精度位移的探針臂，同時(shí)配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號(hào)，用來測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)
t 超高溫升級(jí)選件
t 超高真空升級(jí)選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
t 靜音真空泵
探針臺(tái)的維護(hù)和保養(yǎng)：
1.避免碰撞：在安裝，操作探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。
2.儀器的運(yùn)輸：儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭。
儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。
3.儀器的存放
使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。
探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。
探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸*從中間向外輕輕的擦拭。*時(shí)易燃物，注意使用安全。
停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。
操作人員必須嚴(yán)格按要**作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。
4.工作環(huán)境
探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上，最好是具有防震裝置的工作臺(tái)上，避免在高溫，潮濕激烈震動(dòng)，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。