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技術(shù)文章
探針臺(tái)是如何工作的
點(diǎn)擊次數(shù)：2096 發(fā)布時(shí)間：2024-3-2
探針臺(tái)將晶圓或芯片固定在安裝在平臺(tái)上的卡盤上，該平臺(tái)允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。
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機(jī)械手放置在平臺(tái)的平面上，并在機(jī)械手中插入探針臂和jian端。探頭jian端必須適合要執(zhí)行的測(cè)試程序。然后，用戶通過調(diào)整相應(yīng)的操縱器將探針jian端精確定位在設(shè)備內(nèi)的正確位置。然后通過降低壓板使探針與晶片接觸；現(xiàn)在可以測(cè)試該設(shè)備。對(duì)于具有多個(gè)器件的晶圓，在測(cè)試第一個(gè)器件后，可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺(tái)移動(dòng)到下一個(gè)器件。重復(fù)定位探針jian端的過程，直到測(cè)試完所有必需的設(shè)備。這個(gè)過程都可以由操作員手動(dòng)完成，但如果載物臺(tái)和機(jī)械手是電動(dòng)的，并且顯微鏡連接到計(jì)算機(jī)視覺系統(tǒng)，那么這個(gè)過程可以變成半自動(dòng)或全自動(dòng)。這可以提高探針臺(tái)的生產(chǎn)力和吞吐量，并減少運(yùn)行多個(gè)測(cè)試所需的勞動(dòng)力。