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產品簡介
電子化學品,半導體化學材料,高壓計量泵,風囊泵,芯片用電子化學品,半導體化學品,高壓輸液泵,ic化學品,氟材料高壓計量泵,光刻化學品 蝕刻化學品 氫氟酸、鹽酸 光阻膠 光刻膠輸送 濕化學品輸送 半導體專用泵
詳細介紹
SF1005D氟材料高壓計量泵流路做了無金屬優(yōu)化，接觸液體的材料為FFKM、PTFE和特種陶瓷，流量范圍0.01—100.00ml/min，耐壓達到5Mp，揚程高傳輸距離長，是三為科學針對電子化學品領域開發(fā)的一款耐腐蝕有高壓輸送需求的四氟泵。SF1005D高壓氟泵還具有：在線流量和壓力變化曲線、客戶端流量校正，按體積輸送功能和按重量輸送功能，通訊方面有：Modbus 、Profibus和Profinet協(xié)議，PLC，模擬量輸入：0—5V , 4—20 mA，485/232/usb/網(wǎng)口等選擇；流量精度高、壓力脈沖低，重復性好，質量優(yōu)異，廣泛應用于電子化學品輸送領域和化工反應器配套領域。
技術特點：
1， 壓力保護設定：可設置最壓力上限和下限；
2， 壓力脈沖低 ， 采用凸輪曲線補償和流量脈沖電子抑制技術；
3， 流速單位切換：按體積輸送ml/min和按質量輸送g/min；
4， 流量校準：提供用戶參數(shù)區(qū)用于校準泵的流速，滿足不同系統(tǒng)工況需求；
5， 流量控制程序： 提供兩種運行程序，恒流運行和梯度運行；
6， 壓力曲線顯示：各設備分別顯示當前壓力曲線，直觀判斷設備運行狀況；
7， 流量曲線顯示：各設備分別顯示當前運行的流量曲線；
8， 柱塞桿清洗系統(tǒng)，延長泵的使用壽命;
9， 支持RS-232，RS-485，RS-422，USB通訊；Modbus RTU和 ASCII協(xié)議；
10， 一對多控制，單泵操作和多元梯度操作自由選擇，可擴展1對32操作；
11， 運行數(shù)據(jù)保存：開啟或停止數(shù)據(jù)記錄，將壓力曲線和流量曲線保存至Excel格式文件中。
12， 設置方法保存：保存運行參數(shù)設置，如串口端口參數(shù)，壓力保護值，流量控制程序等。
13， 可以實現(xiàn)流體入口天平減重系統(tǒng)的閉環(huán)控制（根據(jù)客戶天平規(guī)格定制）。
SF1005D高壓氟泵參數(shù)：
| 序號 | 產品型號 | SF1005D |
| 1 | 泵頭材質 | 不銹鋼內嵌PCTFE泵頭，螺紋加工在不銹鋼上 |
| 2 | 輸液方式 | 雙柱塞并聯(lián)模式，浮動柱塞設計 |
| 3 | 流量范圍 | 0.01-100.00/min |
| 4 | 增量 | 0.01ml/min |
| 5 | 流量準確度 | ± 0.5% |
| 6 | 流量重復性 | ≤ 0.1% |
| 7 | 壓力范圍 | ≤ 5Mpa |
| 8 | 壓力脈動 | ≤ 0.05Mpa |
| 9 | 流路材料 | FFKM、PTFE、特種陶瓷 |
| 10 | 出口管路 | φ3mm、φ3.175、φ4mm |
| 11 | 流量校正點 | 0.01、0.1、1、10、20、40、60、80、100ml/min |
| 12 | 流量校正功能 | 用戶端 0.01--100.00ml范圍內多參數(shù)流量校正功能 |
| 13 | 通信功能 | RS232，USB(標配）；RS485/422(選配)； Modbus 協(xié)議 |
| 14 | 上位機軟件 | SanoFlu流體控制管理系統(tǒng) |
| 15 | 電源 | 85 ～ 264VAC,50Hz |
| 16 | 尺寸 | 370×240×152 mm3 |