一、產品介紹

SID4 UV HR 波前傳感器基于 Phasics 技術，在 190 nm 至 400 nm 的紫外光譜范圍內提供高分辨率(512 x 512 個測量點)和高的靈敏度(2 nm RMS)。因此，SID4 UV HR 非常適合光學元件特性分析(用于光刻、半導體……)和表面檢查(鏡頭和晶圓)。

● 靈敏度低至 190 nm

● 高靈敏度 – 2 nm RMS

● 非常高的分辨率(512 x 512采樣)

二、產品參數(shù)

三、Phasics 波前傳感器優(yōu)點

1、高分辨率

干涉取樣

最多 850 x 720 個波前測量點

分辨率比基于 Shack-Hartmann 的波前傳感器高 4 倍

2、準確性

得益于嚴格控制的車間校準，波前絕對精度達到 10 nm RMS(lambda/100 @ 1 微米)

波前靈敏度低至 1 nm RMS(lambda/1000 @ 1 微米)

3、消色差

波長波前測量 UV 至 LWIR

可用的波前傳感器：UV、VISIBLE、NIR、SWIR、MWIR 和 LWIR

改變波長時無需額外校準

四、為什么要使用波前傳感器?

波前傳感器在各個行業(yè)中都有廣泛的應用。它們通常用于光學測試和對準，包括測量表面輪廓或反射波前誤差、評估透射波前誤差和評估調制傳遞函數(shù)等任務。波前傳感器還在自適應光學的激光和光學系統(tǒng)鑒定和控制中發(fā)揮著至關重要的作用。此外，它們還用于材料檢測和定量相位成像。幾乎所有與光子學相關的行業(yè)都可以從波前傳感器的使用中受益。

SID4-UV-HR Phasics紫外波前傳感器靈敏度低至190 nm

SID4-UV-HR Phasics紫外波前傳感器靈敏度低至190 nm