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帶 MaxUV 涂層的熱釋電能量傳感器，用于測(cè)量高達(dá) 500 pps 的 90 µJ 至 100 mJ 的激光脈沖。這款 J-25MUV-248 能量傳感器采用 MaxUV 涂層，并針對(duì) 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接校準(zhǔn)在 193 nm，并包括 0.19 至 2.1 µm 的光譜補(bǔ)償。

J-25MUV-193 介紹

帶 MaxUV 涂層的熱釋電能量傳感器，用于測(cè)量高達(dá) 500 pps 的 90 µJ 至 100 mJ 的激光脈沖。USB 接口。

主要特點(diǎn)

● 0.19 至 2.1 µm nm 光譜范圍

● 有效區(qū)域直徑 25 毫米

● 90 µJ 至 100 mJ 能量范圍

● 500 pps 重復(fù)率操作

● 直接 USB 接口

這款 J-25MUV-248 能量傳感器采用 MaxUV 涂層，并針對(duì) 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接校準(zhǔn)在 193 nm，并包括 0.19 至 2.1 µm 的光譜補(bǔ)償。

EnergyMax-USB J-25MUV-193 能量傳感器端接在 USB 電纜上，可直接與 PC 連接。

可以使用大型散熱器來通過增加平均功率能力來擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)率。

J-25MUV-193 規(guī)格

型號(hào)	J-25MUV-193（無擴(kuò)散器）
電纜類型	USB
有效面積直徑	25 mm
探測(cè)器涂層	MaxUV
能量范圍	90 µJ to 100 mJ
波長范圍	190 nm to 2100 nm
噪聲等效能量	<9 µJ
最大熱釋電重復(fù)率（每秒脈沖數(shù)）	500
最大平均功率（W）	5
最大脈沖寬度（µs）	43
最大能量密度（毫焦耳每平方厘米）	200（193 nm，10 ns）
擴(kuò)散器	No
校準(zhǔn)不確定度（%）（k=2）	±3
能量線性 (%)	±3
校準(zhǔn)波長（nm）	193
電纜長度（m）	3

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J-25MUV-193（無擴(kuò)散器）

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