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930系派克parkerUHP隔膜閥產(chǎn)品介紹

時間:2023/6/26閱讀:433
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930系派克parkerUHP隔膜閥產(chǎn)品介紹

930 系列隔膜閥(1-1 / 8英寸的閥體尺寸)可用于各種手動操作和氣動執(zhí)行器操作。它擁有優(yōu)異的可靠性,泄漏完整性和清潔度,使其在UHP半導體行業(yè)中成為理想的應用。

派克930系列1-1/8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性,高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生,非常適用

于UHP半導體應用。

930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計,可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留,減少半導體應用中*不

可*的工藝污熱,該系列閥門的嚴格設計,控制閥座和隔膜應力,以提供穩(wěn)定和免維護的使用壽命。930系列

閥門潤濕部件由特種金屬制成,提供卓*的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的

Vericlean"316l不銹鋼材質(zhì)。Vericean"是派克的UHP級小銹鋼,溫道是高強度鉆具合全材質(zhì)。930系列讓

提供聚三氟氯,烯(PCTFE),聚國國樹脂(PEEK)和聚酰業(yè)胺(Vespel)材質(zhì)的閥座,口使930代門

與多種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴格的設計特點,給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達300

psig時的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。

930系列氣動代可以配警限位開關(guān)或接近開關(guān),用以提供開-關(guān)位置指示,還有多種代體構(gòu)造可選,包括

930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。

930系列閥門上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進行氦氣泄露測試,以適應在苛刻的

UHP應用中,保有其性能和穩(wěn)定性,


市場:

·半導體

·分析實驗室

·制藥

·生物制藥

·航空航天

·工業(yè)

930系派克parkerUHP隔膜閥特點與優(yōu)勢:

·電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)

·高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性服務)

,內(nèi)部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留

,全壓力范圍使用:從真空到300 psig

·內(nèi)部泄漏率:≤1x10-9 scc/sec He

·外部泄漏率:s2x10-10 scc/sec He

,AOP驅(qū)動,額定壓力為75 psig

應用:

,腐蝕性氣體和特種氣體

·半導體工具

·工具連接

·燃氣柜

·閥組箱(VMB)

     

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