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東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： HYDAC壓力開(kāi)關(guān),BURKERT電磁閥,WAUKEE流量計(jì),ATOS油泵,德國(guó)REXROTH電磁換向閥，BERNSTEIN傳感器 |
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干泵很早就出現(xiàn)了,但沒(méi)有明確的定義。就代替油封式機(jī)械泵來(lái)說(shuō),一般通用的說(shuō)法是:能在大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能連續(xù)向大氣中排氣的泵,即稱為干式真空泵(也稱為無(wú)油真空泵)。德國(guó)萊寶LEYBOLD干泵腔內(nèi)無(wú)任何潤(rùn)滑油，四對(duì)斷面相同的轉(zhuǎn)子，分別在它們各自的泵腔內(nèi)固定在兩個(gè)平行的軸上，用一對(duì)時(shí)限齒輪把它們連接并調(diào)整到使它們相互不接觸，有一定的間隙。德國(guó)萊寶LEYBOLD干泵工作時(shí)，泵腔容積不斷周期性地發(fā)生變化，由大到小和由小到大，這樣利用氣體通道的啟閉作用實(shí)現(xiàn)抽氣作用，并且采用拼接成套的結(jié)構(gòu)，細(xì)小雜質(zhì)和灰塵可通過(guò)氣道和氣體一起排出泵外，泵的連續(xù)工作zui大入口壓力為5000Pa，可直排大氣。
德國(guó)萊寶LEYBOLD干泵的分類：
現(xiàn)在市場(chǎng)上提供的干泵種類很多。就其基本原理來(lái)分,只有兩類,即:
①容積式的無(wú)油真空泵,例如多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種德國(guó)萊寶LEYBOLD干泵的極限壓力一般為0.1～10Pa,抽速為0.01～0.04m3?s。
②動(dòng)量傳輸式的無(wú)油真空泵,如渦輪式無(wú)油泵。排氣側(cè)與大氣相接,在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵,可從大氣壓抽到1022Pa。在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu),多級(jí)串聯(lián)抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10-2Pa,抽速為0.02～0.15m3?s。牽引型干泵也屬于動(dòng)量傳輸式的干泵。
這些干泵和油封式機(jī)械泵相比,達(dá)到同樣的極限壓力,其殘余氣體成分則全然不同,經(jīng)分析結(jié)果明,油封泵的殘余氣體,CnHm氣體(碳?xì)浠衔餁怏w)為其主要成分,而干式泵的殘余氣體為空氣的組成成分。這就證實(shí)了干泵的抽氣不再有油的污染了。
有些干泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上,如泵的傳動(dòng)齒輪和軸承等仍在使用潤(rùn)滑油,也有用合成油,如PFPE油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔內(nèi)不存在,嚴(yán)格來(lái)說(shuō)不是全無(wú)油的泵,但經(jīng)分析,這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的,并無(wú)影響。
優(yōu)勢(shì)：從大氣進(jìn)入極限真空可保持連續(xù)運(yùn)行；出色的熱曲線和溫度控制；可耐受液體和微粒；不會(huì)造成工藝污染；性價(jià)比高且環(huán)保；功率低；不產(chǎn)生污水；干式運(yùn)行機(jī)械裝置；設(shè)計(jì)追求可靠性和易維護(hù)；可以用水或溶液清洗；去除了壓縮板，可以更好地處理灰塵；轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)均衡；標(biāo)準(zhǔn)附件模塊；油經(jīng)過(guò)冷卻和過(guò)濾；
德國(guó)萊寶ECODRY\M系列活塞式干泵
Ecodry系列為歐瑞康萊寶推向市場(chǎng)的一種干式泵。它可以滿足除半導(dǎo)體行儀以外的所有干式真空的需要。由于它相對(duì)于其他干式泵來(lái)說(shuō)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，價(jià)合理，因此剛一面市、即受到廣大格用戶的歡迎。
Ecodry活塞式干泵的主要技術(shù)參數(shù)：
抽速：14m3/h～30m3/h
極限真空度：5.5×10-2mbar
排水蒸氣能力：25mbar(zui大)
Ecodrg活塞式干泵的主要特點(diǎn)：
1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于操作和維護(hù)；
2、工作過(guò)程中不產(chǎn)生粉塵；
3、耐粉塵，排水蒸氣能力強(qiáng)；
4、低能耗，堅(jiān)固耐用，可靠性高；
5、可以選配變頻器增大抽速；
典型應(yīng)用：質(zhì)譜儀，電子顯微鏡，照明，鍍膜，loadlock，無(wú)油高真*級(jí)泵等。
