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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
小型勻膠機(jī)
勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制，文本顯示器人機(jī)界面。
LH3-EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。采用全陽(yáng)極氧化鋁面板外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。
產(chǎn)品性能參數(shù)：
支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）
速度可調(diào)范圍：100-10000rpm
加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s
轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm
轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm
可編程5組5步程序
寬電壓輸入：AC100-230V
產(chǎn)品特性?xún)?yōu)點(diǎn)：
75W直流無(wú)刷電機(jī)，單片機(jī)控制
高清晰文本顯示器
可單步和多步勻膠操作
PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換
鋁合金陽(yáng)極氧化外殼，美觀大方
耐溶劑PC透明蓋
多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)
HDPE真空吸盤(pán)
產(chǎn)品外型尺寸：
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)
