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3D光學(xué)表面輪廓儀的工作原理和應(yīng)用

為什么需要測量表面形貌？

　　在生產(chǎn)中，微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價(jià)具有直接的影響，而且表面三維評定參數(shù)由于能更、更真實(shí)地反映零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過對三維形貌的測量可以比較地評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞及設(shè)計(jì)要求的合理性，這樣就可以反過來通過指導(dǎo)加工、優(yōu)化加工工藝以加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。

3D光學(xué)表面輪廓儀的測量原理：

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

3D光學(xué)表面輪廓儀的應(yīng)用

優(yōu)尼康科技有限公司提供的Profilm3D光學(xué)輪廓儀讓輪廓測量價(jià)格更為實(shí)惠，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。