電子級(jí)氫氟酸濃度計(jì)，采用分體式設(shè)計(jì)，由濃度傳感器和多功能主機(jī)組成，通過(guò)傳感器測(cè)量，多功能主機(jī)顯示及控制。傳感器采用超純PFA/PTFE流通池結(jié)構(gòu)結(jié)合大面積藍(lán)寶石光學(xué)棱鏡，通過(guò)長(zhǎng)期研發(fā)，解決了半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品濃度在線測(cè)控產(chǎn)品“卡脖子"問(wèn)題。

電子級(jí)氫氟酸是半導(dǎo)體、集成電路、液晶顯示器（LCD）、太陽(yáng)能電池等微電子行業(yè)中的關(guān)鍵化學(xué)品。它是一種超高純度的氫氟酸水溶液，用于：

清洗與刻蝕：清除晶圓表面的氧化物、金屬雜質(zhì)、有機(jī)污染物，并刻蝕硅、二氧化硅、氮化硅等材料。

拋光：改善晶圓表面平整度，提高器件性能。

調(diào)整摻雜：在一些工藝中用于調(diào)整硅片的摻雜濃度。

電子級(jí)氫氟酸的濃度須準(zhǔn)確控制，偏離目標(biāo)值會(huì)帶來(lái)嚴(yán)重問(wèn)題：

濃度過(guò)高會(huì)導(dǎo)致過(guò)度刻蝕，造成器件尺寸偏差甚至損壞，還會(huì)腐蝕設(shè)備管道和容器，帶來(lái)安全隱患和經(jīng)濟(jì)損失，并增加高濃度HF廢液的處理難度，導(dǎo)致成本高昂。而濃度過(guò)低則會(huì)導(dǎo)致清洗效果差，無(wú)法有效去除污染物，影響器件性能，同時(shí)刻蝕速率慢，延長(zhǎng)工藝時(shí)間，降低生產(chǎn)效率，導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降，甚至報(bào)廢，增加產(chǎn)品報(bào)廢率。

傳統(tǒng)的人工滴定、化學(xué)分析等檢測(cè)方法存在以下不足：

耗時(shí)費(fèi)力：需要人工取樣、化驗(yàn)，過(guò)程繁瑣。

滯后性：無(wú)法實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)濃度變化，容易造成偏差。

人為誤差：存在操作誤差，影響檢測(cè)精度。

安全性問(wèn)題：人工接觸HF有安全風(fēng)險(xiǎn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

電子級(jí)氫氟酸濃度計(jì)采用分體式設(shè)計(jì)，有濃度傳感器和多功能主機(jī)組成，通過(guò)傳感器測(cè)量，多功能主機(jī)顯示及控制。

傳感器采用超純PFA/PTFE流通池結(jié)構(gòu)結(jié)合大面積藍(lán)寶石光學(xué)棱鏡，通過(guò)長(zhǎng)期技術(shù)積累和攻關(guān)研發(fā)，解決了半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品濃度在線測(cè)控類產(chǎn)品的“卡脖子"問(wèn)題。

電子級(jí)氫氟酸濃度計(jì)具有高精度、SEMIG5級(jí)、耐高溫、長(zhǎng)壽命光源、光強(qiáng)自調(diào)節(jié)、恒溫探測(cè)器等特點(diǎn)。儀表無(wú)需樣品預(yù)處理，無(wú)需試劑耗材，秒量級(jí)的快速測(cè)量，讓企業(yè)實(shí)時(shí)掌握生產(chǎn)動(dòng)態(tài)。在檢測(cè)過(guò)程中無(wú)機(jī)械動(dòng)作，確保長(zhǎng)期使用穩(wěn)定。儀表采用長(zhǎng)達(dá)10萬(wàn)小時(shí)的超長(zhǎng)壽命光源，檢測(cè)過(guò)程無(wú)機(jī)械動(dòng)作，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，降低維護(hù)成本。全平面結(jié)構(gòu)的檢測(cè)棱鏡，避免藏污納垢。出廠校準(zhǔn)和自動(dòng)溫度補(bǔ)償，讓您直接投入使用，無(wú)需繁瑣設(shè)置。還支持上位機(jī)通訊，4-20mA&RS485信號(hào)輸出、報(bào)警及控制等開(kāi)關(guān)量信號(hào)輸出，支持?jǐn)?shù)據(jù)建模功能，可定制數(shù)據(jù)模型。

應(yīng)用場(chǎng)景

HF配液系統(tǒng)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)配液濃度，確保配液精度。

清洗槽：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗液濃度，控制清洗效果。

刻蝕槽：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)刻蝕液濃度，控制刻蝕速率。

廢液處理系統(tǒng)：監(jiān)測(cè)廢液濃度，優(yōu)化處理工藝。

HF儲(chǔ)罐：監(jiān)測(cè)儲(chǔ)罐內(nèi)HF濃度，確保質(zhì)量。

技術(shù)參數(shù)