應用領域 | 綜合 | 光學系統(tǒng): | 同時3種通道檢測, 可到達分辨率0.1um |
---|---|---|---|
?速系統(tǒng): | 6 inch 只要3分鐘 | 復判判斷: | 內建整合DIC顯微鏡, 可透過?倍率的?式對于瑕疵進?影像確認與分析. |
分類模塊: | 可針對瑕疵尺???進?分類統(tǒng)計, 后續(xù)還可對于不同通道的訊號進?AI瑕疵分類. |
?動?業(yè)顯微鏡系統(tǒng) (5X~150X)
Wafer 表?瑕疵檢測系統(tǒng) (1um)
Particle counter檢測設備 (0.1um)
光學系統(tǒng): 同時3種通道檢測, 可到達分辨率0.1um
?速系統(tǒng): 6 inch 只要3分鐘
復判判斷: 內建整合DIC顯微鏡, 可透過?倍率的?式對于瑕疵進?影像確認與分析.
分類模塊: 可針對瑕疵尺???進?分類統(tǒng)計