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•工藝設(shè)備：真空鍍膜機(jī)，ICP刻蝕機(jī)， IBE刻蝕機(jī)，納米材料沉積，狹縫涂布儀等；

•元素分析：原子吸收，氣相色譜，液相色譜，氣質(zhì)聯(lián)用，紫外分光光度計，紅外光譜儀等；

•材料表面分析：臺階儀，立體輪廓儀，原子力顯微鏡，激光干涉儀，激光測振儀；

•力學(xué)分析：納米壓痕，劃痕，摩擦磨損試驗機(jī)等；

•通用分析：光鏡，掃描電鏡等。