目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-PECVD-240T-SS等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備
| 參考價(jià) | ￥ 60000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
| ￥60000 |
| ≥1件 |
更新時(shí)間：2024-12-17 11:38:45瀏覽次數(shù)：153評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)品名稱 | 桌面式4英寸平板等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | CY-PECVD-240T-SS | |
| 供電電源 | AC220V 50Hz | |
| 射頻電源 | 信號(hào)頻率 | 13.56MHz |
| 功率輸出范圍 | 0~500W (還可選擇150W, 300W, 1000W等) | |
| 工作腔體 | 加熱溫度 | RT-500℃（還可選擇600℃，800℃，1000℃等） |
| 樣品臺(tái)尺寸 | Φ100mm（兼容4英寸及以下樣品） | |
| 樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm 可調(diào) | |
| 腔體材質(zhì) | 不銹鋼 | |
| 觀察窗 | Φ60mm, 帶擋板 | |
| 供氣系統(tǒng) | 通道數(shù) | 3 （可根據(jù)需要選擇其他通道數(shù)，其他氣體種類，其他測(cè)量范圍） |
| 測(cè)量單位 | 質(zhì)量流量計(jì) | |
| 測(cè)量范圍 | A 通道: 0～200SCCM for O2 | |
| B通道: 0～200SCCM for N2 | ||
| C通道: 0～200SCCM for Ar | ||
| 真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵抽速 | 1.1L/s |
| 分子泵抽速 | 60L/s | |
| 真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì) | |
| 真空度 | 5.0*10-3Pa | |
| 水冷機(jī) | 水流速 | 10L/min |
| 冷卻功率 | 50W/℃ | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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