目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>勻膠機(jī)旋涂?jī)x>> CY-SPC8-SS不銹鋼腔體勻膠機(jī)旋涂?jī)x
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¥98000 |
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更新時(shí)間:2025-08-07 14:48:40瀏覽次數(shù):31評(píng)價(jià)
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不銹鋼腔體勻膠機(jī)旋涂?jī)x是一種用于制備薄膜的儀器,廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)等領(lǐng)域。它的主要工作原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,從而制備出均勻、致密、厚度可調(diào)的薄膜。不銹鋼腔體勻膠機(jī)被認(rèn)為是制備高質(zhì)量樣品的重要工具之一。
勻膠機(jī)主要由基座、旋轉(zhuǎn)盤、傳動(dòng)裝置、抽氣裝置、注解系統(tǒng)和數(shù)顯溫控器等多個(gè)部分組成。其制備過程可以分為以下步驟:將溶液放在旋轉(zhuǎn)盤上;啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤進(jìn)行離心作用;控制旋轉(zhuǎn)速度和時(shí)間使其形成想要厚度的薄膜;*后利用抽氣裝置去除涂層表面的余膠。
使用時(shí),勻膠機(jī)需要準(zhǔn)備一定數(shù)量的所需材料的溶液或混合物,通常使用有機(jī)溶劑或水作為稀釋劑,并加入表面活性劑以改善黏度和表面張力?;旌衔锏呐浞綉?yīng)該根據(jù)所需薄膜的化學(xué)性質(zhì)和厚度來確定。
此外,不銹鋼腔體勻膠機(jī)采用的精密電機(jī),其轉(zhuǎn)速能達(dá)到很高,例如10000轉(zhuǎn)/分,這有效地保障了成膜的均勻性。同時(shí),它可能采用觸控屏控制,可以預(yù)設(shè)勻膠曲線,從而大大簡(jiǎn)化了使用過程并降低了學(xué)習(xí)成本。
請(qǐng)注意,不同的不銹鋼腔體勻膠機(jī)可能有不同的特點(diǎn)和功能,因此在具體選擇和使用時(shí),建議參考相關(guān)產(chǎn)品的說明書或咨詢專業(yè)人士。
不銹鋼腔體勻膠機(jī)的主要用途是將液態(tài)或膠體材料均勻涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上,形成薄膜。這種設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域,包括但不限于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作以及溶膠凝膠法制作高分子薄膜等。
具體來說,不銹鋼腔體勻膠機(jī)通過高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使膠液均勻地分布在基片表面,形成一層均勻、致密的薄膜。這種薄膜的厚度和均勻性可以通過控制旋轉(zhuǎn)速度和時(shí)間來調(diào)節(jié),以滿足不同應(yīng)用的需求。
在光刻膠旋涂中,不銹鋼腔體勻膠機(jī)用于在硅片或其他基片上制備光刻膠薄膜,這是制造半導(dǎo)體器件和集成電路的關(guān)鍵步驟。在生物培養(yǎng)基制作中,勻膠機(jī)則用于制備均勻的生物培養(yǎng)基薄膜,用于細(xì)胞培養(yǎng)和組織工程等研究。此外,在溶膠凝膠法制作高分子薄膜時(shí),不銹鋼腔體勻膠機(jī)同樣發(fā)揮著重要作用。
總的來說,不銹鋼腔體勻膠機(jī)在材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、生物學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用,為科研和生產(chǎn)提供了重要的技術(shù)支持。
不銹鋼腔體勻膠機(jī)旋涂?jī)x技術(shù)參數(shù):
供電電壓 | AC220V 50Hz |
轉(zhuǎn)速 | -3000~3000 rpm |
2000 rpm/S | |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm |
轉(zhuǎn)速精度 | ±1 rpm(50~3000 rpm) |
單步時(shí)間 | 3000s |
基片尺寸 | 基片尺寸規(guī)格:4/6/8 寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓,固定 300mm 金屬 frame,晶圓厚度:80-100um |
腔體材質(zhì) | 上等不銹鋼,可拆卸組合式 CUP,方便清洗 |
自動(dòng)擺臂 | 擺臂速度:1~30°/S;材質(zhì):鋁合金;數(shù)量:1 |
管路 | 1.管路數(shù)量:4 2.自動(dòng)擺臂:1 路 N2,1 路高壓水,1 路膠;固定臂:1 路高壓水 3.高壓水壓力范圍:1~12Mpa(10-120bar) 4.水壓大小可以通過通信協(xié)議設(shè)置 5.氮?dú)饬髁看笮】赏ㄟ^通信協(xié)議設(shè)置 |
滴膠方式 | 膠粘度:40~60cp; 供膠方式:氣動(dòng)膠泵(帶液位檢測(cè)) 補(bǔ)液方式:手動(dòng)補(bǔ)液 . |
載物盤
| 數(shù)量:1 材質(zhì): 微孔盤 ,載物盤具有升降功能 尺寸:適合 4/6/8 寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓+300mm 金屬 frame 基片固定方式:真空吸附方式+夾持 真空檢測(cè):數(shù)字式壓力傳感器 |
控制系統(tǒng) | 控制系統(tǒng):采用 PLC 控制 ,模塊化 無需觸摸屏。 程序:100 組,每組 100 步,單步*大 3000.0S,時(shí)間分辨率:0.1S 程序可保存、調(diào)用、修改、刪除 設(shè)置加密權(quán)限:分別為設(shè)備操作員、技術(shù)員、管理員、 廠商 信號(hào)塔類型:紅、黃、綠 3 色 與主設(shè)備機(jī)器人對(duì)接(**互鎖) 程序:包括原點(diǎn)定位+頂升+兩路高壓控制+漏液報(bào)警+軟件配合 |
**保護(hù) | 有防漏電斷路保護(hù)裝置 底部裝有漏液傳感器,機(jī)臺(tái)漏液會(huì)有報(bào)警提示 有可靠的接地裝置及緊急停止和報(bào)警系統(tǒng) 真空不足報(bào)警,異常報(bào)警的情況下將嚴(yán)禁運(yùn)行設(shè)備 |
是否支持定制 | 是的 |
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