大功率程控伺服勻膠機(jī)旋涂儀是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)在價(jià)值百萬美元的設(shè)備上才可能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性，大功率程控伺服勻膠機(jī)能夠處理12寸以內(nèi)的圓晶基片。

大功率程控伺服勻膠機(jī)旋涂儀主要特點(diǎn)：  

機(jī)身采用不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；  

工業(yè)級別400瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用于trCYk設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；  

可達(dá)到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和的可重復(fù)性。  

大功率程控伺服勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：  

旋涂程序：可以至多存儲(chǔ)100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可**到0.1秒  

轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-5000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm  

旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s  

馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差：<±1rpm  

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復(fù)性：1rpm  

工藝時(shí)間設(shè)定：0-3000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec  

支持wafer尺寸25px-300mm（12''圓晶）  

旋涂作業(yè)均勻性：<±3%在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）  

CY-HP-PC-S大功率程控伺服勻膠機(jī)優(yōu)點(diǎn)：  

內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。  

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。  

Telon ®/polyethylene“密閉碗"設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。  

標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。  

采用工業(yè)級別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。  

機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。  

排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。  

透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。  

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