本加熱型勻膠機(jī)旋涂儀主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，該工藝在材料研究領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。本加熱型勻膠機(jī)的工作腔體為聚四氟（塑料王）材質(zhì)，它是由四氟乙烯經(jīng)聚合而成的高分子化合物，具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性和的耐腐蝕性，已廣泛應(yīng)用于各種需要抗酸堿和有機(jī)溶劑的場合。本加熱型勻膠機(jī)內(nèi)安裝有真空數(shù)字傳感器，涂敷過程中可實(shí)時(shí)檢測系統(tǒng)真空度，控制器必須在合適的真空度下電機(jī)才可以正常啟動和運(yùn)行。這樣可以有效保障：可靠吸片并杜絕飛片事故的發(fā)生

加熱型勻膠機(jī)旋涂儀采用全鋁合金腔體，美觀堅(jiān)固。儀器采用的精密電機(jī)，轉(zhuǎn)速能達(dá)到10000轉(zhuǎn)/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準(zhǔn)確，升溫過程可控。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預(yù)設(shè)勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學(xué)習(xí)成本，十分適合實(shí)驗(yàn)室選購。 加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀  加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。

加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀技術(shù)參數(shù)：  

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