小型勻膠機(jī)旋涂儀英文叫Spin Coater或Spin Processor，又稱為甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)。它可以把滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上。臺式勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體硅片、載玻片、晶片、基片、ITO導(dǎo)電玻璃等工藝、制版的表面涂覆。具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證涂膠厚度的一致性和均勻性。本設(shè)備通常搭配無油真空泵一起使用。

小型勻膠機(jī)旋涂儀產(chǎn)品特點(diǎn)：  

1：采用75W直流無刷電機(jī)，單片機(jī)控制  

2：高清晰文本顯示器  

3：可單步和多步勻膠操作  

4：仿堵膠設(shè)計(jì)  

5：PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換  

6：PC透明蓋  

7：多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)  

8：HDPE真空吸盤

不同行業(yè)的勻膠機(jī)應(yīng)用案例：

1. 半導(dǎo)體制造案例

應(yīng)用場景：光刻膠勻膠涂覆

客戶需求：某半導(dǎo)體廠商需要高精度勻膠機(jī)，確保光刻膠在硅片上的厚度均勻性（±1%偏差）。

解決方案：

采用真空吸附勻膠機(jī)，避免硅片位移。

轉(zhuǎn)速范圍 500-8000 RPM，適配不同膠體粘度。

程序控制加速/減速曲線，減少邊緣效應(yīng)。

2. 科研實(shí)驗(yàn)室案例

應(yīng)用場景：納米材料薄膜制備（如鈣鈦礦太陽能電池）

客戶需求：某高校實(shí)驗(yàn)室需要小尺寸、多參數(shù)可控的旋涂儀，用于材料研究。

解決方案：

臺式勻膠機(jī)，適配 2英寸×2英寸 基底。

轉(zhuǎn)速 200-10000 RPM，支持程序化分段旋涂。

配備 氮?dú)獯祾?功能，避免氧化影響。

3. LED行業(yè)案例

應(yīng)用場景：LED芯片熒光膠涂覆

客戶需求：某LED廠商需解決熒光膠涂層厚度不均導(dǎo)致的色差問題。

解決方案：

定制多工位勻膠機(jī)，支持 自動滴膠+旋涂。

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性 ±1 RPM，確保批次一致性。

配備 加熱托盤（50-120℃），加速膠體固化。

4. 光伏行業(yè)案例

應(yīng)用場景：太陽能電池抗反射膜涂覆

客戶需求：某光伏企業(yè)需在硅片表面涂覆 SiO?溶膠，減少光反射損失。

解決方案：

采用 大尺寸勻膠機(jī)（兼容 156mm×156mm 硅片）。

低轉(zhuǎn)速模式（300-1000 RPM），避免溶膠飛濺。

模塊化設(shè)計(jì)，支持快速清潔換料。

技術(shù)參數(shù)  ：

1：速度可調(diào)：100~9999rpm  

2：加速度可調(diào)：100~9999rpm/s  

3：轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm  

4：單步時間：3000s  

5：單步和多步運(yùn)行可選，可編程5組5步程序  

6：寬電壓輸入：AC100~230V  

7：操作界面中英文可選