目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2晶圓級大尺寸二硫化鉬制備CVD設(shè)備
晶圓級大尺寸二硫化鉬制備CVD設(shè)備（1150 三溫區(qū) 3路MFC）
本設(shè)備為基于CVD原理設(shè)計(jì)的晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置。包括三溫區(qū)管式爐，特殊設(shè)計(jì)的爐管及配套氣路一組。該設(shè)備通過特殊設(shè)計(jì)的管路，能夠?qū)⒎磻?yīng)氣體均勻的釋放于爐管，確保后端晶圓上的產(chǎn)物的一致性和均勻性。是二硫化鉬制備實(shí)驗(yàn)的。
特點(diǎn)
1.特殊管路設(shè)計(jì)，反應(yīng)氣體均勻的釋放
2.二硫化鉬制備
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號 | CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 |
| 爐管規(guī)格 | 外部大石英管 φ120mm x1000mm 內(nèi)部小石英管 φ25mm x820mm x7根 |
| 溫區(qū)長度 | 三溫區(qū)200mm+200mm+200mm |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫度曲線 | 三溫區(qū)獨(dú)立控溫，每個溫區(qū)均可設(shè)置30段時間溫度曲線 |
| 工作溫度 | 0~1150℃ |
| 升溫速率 | ≤10℃/min |
| 進(jìn)氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計(jì)Ar氣0~500sccm N2氣0~200sccm H2氣0~200sccm 配有七路分氣、混氣氣路及混氣灌。 |
| 爐管法蘭 | 不銹鋼水冷法蘭，配有KF16真空接口，機(jī)械式真空計(jì)及不銹鋼針閥 |
| 供電要求 | AC 220V 50Hz 4kW |
| 控制方式 | 7英寸觸控屏 |
| 真空泵 | 雙極旋片真空泵 |
| 真空度 | 理論極限真空度10^-1Pa |
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