目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>培育鉆石>> MPCVD單晶鉆石沉積設(shè)備
化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)多晶鉆石自支撐厚膜
化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)多晶鉆石薄膜
化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和鉆石膜等各種碳納米薄膜
本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設(shè)備，功率密度高；
水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長時間穩(wěn)定工作；
基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到；
真空測量儀表采用全量程真空計，可**測量本底真空和工作氣體壓強；
真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為1Pa)，系統(tǒng)可自動控制沉積氣壓；
配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，確保裝置高功率下可長時間**穩(wěn)定運行；
系統(tǒng)帶15寸觸摸屏，PLC自動控制，可設(shè)置溫度或氣壓恒定，可保存復(fù)用多達20套工藝文件；
全自動工藝控制模塊，可以穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)鉆石薄膜和晶體
| 項目名稱 | 規(guī)格 | 配置 |
| 主控單元 |
| PLC 自動程控 |
| 微波源 | 6kw 2.45Ghz | 微波電源 |
| 微波發(fā)生器 | ||
| 波導(dǎo) | 6kw | 三銷釘 |
| 模式轉(zhuǎn)換器 | 6kw |
|
| 諧振腔體 | 6kw | 柱形水冷腔體 |
| 基臺 | φ70mm | 電動升降 |
| 鉆石生長基本參數(shù) |
| 7x7mm 37片 8x8mm 29片 9x9mm 21片 10x10mm 13片 |
| MFC（質(zhì)子流量計） | 5路 | Ch4 0-500sccm H2 0-500sccm N2 0-500sccm Ar 0-500sccm O2 0-500sccm |
| 測溫元件 |
| 高精度紅外測溫儀 |
| 真空測量 |
| 高精度真空計 |
| 分子泵 |
| 默認無/可選 |
| 氫氣純化 |
| 9N級 |
| 水循環(huán) |
| 3P水冷機 |
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