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CY-SPC-SS-全自動(dòng)勻膠機(jī)旋涂?jī)x
  • CY-SPC-SS-全自動(dòng)勻膠機(jī)旋涂?jī)x
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貨物所在地:河南鄭州市

更新時(shí)間:2025-07-24 21:00:08

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全自動(dòng)勻膠機(jī)旋涂?jī)x是一種實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,主要用于制備薄膜材料,其應(yīng)用范圍包括制備太陽(yáng)能電池,制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物、聚合物等材料的薄膜,制備納米材料、納米結(jié)構(gòu)、納米薄膜等。

詳情介紹:

全自動(dòng)勻膠機(jī)旋涂?jī)x是一種實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,主要用于制備薄膜材料,其應(yīng)用范圍包括制備太陽(yáng)能電池,制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物、聚合物等材料的薄膜,制備納米材料、納米結(jié)構(gòu)、納米薄膜等。在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中,勻膠機(jī)旋涂?jī)x是關(guān)鍵設(shè)備。例如在光刻工藝之前,需要使用它在硅片表面均勻地涂覆光刻膠。光刻膠的厚度均勻性對(duì)于芯片的精度和性能至關(guān)重要。高精度的全自動(dòng)勻膠機(jī)能夠精確控制光刻膠的厚度,誤差可以控制在極小范圍內(nèi),確保在后續(xù)光刻過(guò)程中能夠精確地將電路圖案轉(zhuǎn)移到芯片上。而且,對(duì)于不同尺寸的硅片(如從較小的芯片試驗(yàn)片到大型的量產(chǎn)硅片),都可以通過(guò)調(diào)整旋涂參數(shù)實(shí)現(xiàn)良好的涂覆效果。


產(chǎn)品特點(diǎn):

1、專業(yè)級(jí)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),高精度、高重復(fù)性

2、人性化設(shè)計(jì),ARM控制,安卓全彩觸屏操作

3、不銹鋼內(nèi)腔,陽(yáng)極氧化處理面板,美觀、整潔

4、可連續(xù)、自動(dòng)供膠,滿足工業(yè)用途

5、可添加防濺罩式清洗和顯影功能,滿足定制需要

6、適合處理超大或超重底物,*大處理12寸圓形底物

7、更大尺寸和重型底物以及內(nèi)腔抽真空等要求均可定制

全自動(dòng)勻膠機(jī)旋涂?jī)x

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

全自動(dòng)勻膠機(jī)旋涂?jī)x

產(chǎn)品型號(hào)

CY-SPC-SS

供電電壓

AC220V  50Hz

基片尺寸

6寸、8寸鋁合金真空載物盤

腔體材質(zhì)

不銹鋼

轉(zhuǎn)速

20-5000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率

±lrpm

加速度可調(diào)范圍

20-10000rpm/s

單步時(shí)長(zhǎng)

3000s

時(shí)間分辨率

0.1s

編程

可編程100組100步程序

點(diǎn)膠端口

可擴(kuò)展帶四路自動(dòng)點(diǎn)膠端口

點(diǎn)膠功能

可升級(jí)多路自動(dòng)點(diǎn)膠功能

滴膠方式

自動(dòng)

操作方式

液晶屏操作系統(tǒng)


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